[發(fā)明專利]形成穿透和/或反射圖像的高處理量檢測(cè)系統(tǒng)及其方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210175794.6
• 申請(qǐng)日: 2003-08-06
• 公開（公告）號(hào): CN102706888A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 伊曼紐爾·埃爾亞薩夫;哈爾姆·費(fèi)爾德曼;斯?fàn)柭喡宸?/a>;埃爾坦·拉哈特
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司;應(yīng)用材料以色列公司
• 主分類號(hào): G01N21/88
• 分類號(hào): G01N21/88
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國

本申請(qǐng)是2003年8月6日遞交的中國專利申請(qǐng)?zhí)?3823778.4的分案申請(qǐng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明大體涉及一種使用短周期反射及穿透發(fā)光光束(例如但不限于發(fā)光光束)的用于高處理量檢測(cè)一物體的系統(tǒng)及方法。

背景技術(shù)

檢測(cè)一物品以決定此物品狀態(tài)的系統(tǒng)與方法，例如屏蔽(亦稱為標(biāo)線板或光掩模)，此項(xiàng)技術(shù)中已為業(yè)界所熟知。光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)與方法，通常包含導(dǎo)引一發(fā)光光束至一檢測(cè)物體，并檢測(cè)由系統(tǒng)反射的發(fā)光，或穿透物體的發(fā)光。

晶體管的大小持續(xù)縮小，且需以較高分辨率檢測(cè)屏蔽(亦稱為標(biāo)線板)。除需較高分辨率外，需以一可節(jié)省時(shí)間的方式執(zhí)行光學(xué)檢測(cè)。因此需提供一種具有高處理量與高分辨率的系統(tǒng)檢測(cè)與方法。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種光學(xué)地檢測(cè)一物體以指示物體的狀態(tài)的方法，該方法至少包含下列步驟：傳送發(fā)光光束；更改所述發(fā)光光束并從該物體的一區(qū)域的一表面反射所更改的發(fā)光光束，從而當(dāng)所述發(fā)光光束的極性未改變時(shí)所反射的光束到達(dá)第一區(qū)域感應(yīng)器，當(dāng)可變半波長延遲器引入半波長的一相位偏移改變所述發(fā)光光束的極性時(shí)所反射的光束到達(dá)第二區(qū)域感應(yīng)器；由所述第一區(qū)域感應(yīng)器來感應(yīng)到達(dá)所述第一區(qū)域感應(yīng)器的所反射光束，并響應(yīng)形成第一輸出信號(hào)；由所述第二區(qū)域感應(yīng)器感應(yīng)到達(dá)所述第二區(qū)域感應(yīng)器的所反射光束，并響應(yīng)形成第二輸出信號(hào)；重復(fù)更改、反射與感應(yīng)的循環(huán)，直到該物體的一預(yù)先定義部分被完全照射為止；其中在每個(gè)循環(huán)期間，所述第一和第二輸出信號(hào)的其中之一將被處理；及處理該第一和第二輸出信號(hào)，以提供該物體的預(yù)先定義部分的狀態(tài)的一指示。

本發(fā)明提供一種光學(xué)地檢測(cè)一物體以指示該物體的狀態(tài)的方法，該方法至少包含下列步驟：傳送發(fā)光光束；更改所述發(fā)光光束并使所改變的發(fā)光光束穿透該物體的一區(qū)域的一表面，從而當(dāng)所述發(fā)光光束的極性未改變時(shí)所穿透的光束到達(dá)第一區(qū)域感應(yīng)器，當(dāng)可變半波長延遲器引入半波長的一相位偏移改變所述發(fā)光光束的極性時(shí)所穿透的光束到達(dá)第二區(qū)域感應(yīng)器；通過該第一區(qū)域感應(yīng)器感應(yīng)到達(dá)所述第一區(qū)域感應(yīng)器的所穿透光束，并響應(yīng)形成第一輸出信號(hào)；通過該第二區(qū)域感應(yīng)器感應(yīng)到達(dá)所述第二區(qū)域感應(yīng)器的所穿透光束，并響應(yīng)形成第二輸出信號(hào)；重復(fù)更改、穿透與感應(yīng)的循環(huán)，直到該物體的一預(yù)先定義部分被完全照射為止，其中在每個(gè)循環(huán)期間，所述第一和第二輸出信號(hào)的其中之一將被處理；及處理該第一和第二輸出信號(hào)，以提供該物體的預(yù)先定義部分的狀態(tài)的一指示。

本發(fā)明提供一種高處理量檢測(cè)系統(tǒng)，該系統(tǒng)包含：一照明系統(tǒng)，所述照明系統(tǒng)用以傳送發(fā)光光束；以及一控制器，所述控制器用于更改所述發(fā)光光束并使所述照明系統(tǒng)能由物體的一區(qū)域的一表面反射所更改的發(fā)光光束，從而當(dāng)所述發(fā)光光束的極性未改變時(shí)所反射的光束到達(dá)第一區(qū)域感應(yīng)器，當(dāng)可變半波長延遲器引入半波長的一相位偏移改變所述發(fā)光光束的極性時(shí)所反射的光束到達(dá)第二區(qū)域感應(yīng)器，所述第一區(qū)域感應(yīng)器用于感應(yīng)到達(dá)所述第一區(qū)域感應(yīng)器的所反射光束并響應(yīng)形成第一輸出信號(hào)，以及所述第二區(qū)域感應(yīng)器用于感應(yīng)到達(dá)所述第二區(qū)域感應(yīng)器的所反射光束，并響應(yīng)形成第二輸出信號(hào)，其中該控制器更適于：(i)控制更改、反射與感應(yīng)的循環(huán)的重復(fù)，直到照射該物體的一預(yù)先定義部分；(ii)在每個(gè)循環(huán)期間，使第一和第二輸出信號(hào)的其中之一被處理；及(iii)處理所述第一和第二輸出信號(hào)，以提供該物體的預(yù)先定義部分的狀態(tài)的一指示。

本發(fā)明提供一種高處理量檢測(cè)系統(tǒng)，該系統(tǒng)至少包含：一照明系統(tǒng)，所述照明系統(tǒng)用以傳送發(fā)光光束；以及一控制器，所述控制器用于更改所述發(fā)光光束并使所述照明系統(tǒng)能傳輸所更改的發(fā)光光束穿透一物體的一區(qū)域的一表面，從而當(dāng)所述發(fā)光光束的極性未改變時(shí)所穿透的光束到達(dá)第一區(qū)域感應(yīng)器，當(dāng)可變半波長延遲器引入半波長的一相位偏移改變所述發(fā)光光束的極性時(shí)所穿透的光束到達(dá)第二區(qū)域感應(yīng)器，所述第一區(qū)域感應(yīng)器用于感應(yīng)到達(dá)所述第一區(qū)域感應(yīng)器的所穿透光束，并響應(yīng)產(chǎn)生第一輸出信號(hào)，以及所述第二區(qū)域感應(yīng)器用于感應(yīng)到達(dá)所述第二區(qū)域感應(yīng)器的所穿透光束，并響應(yīng)形成第二輸出信號(hào)，其中該控制器更適于：(i)控制更改、穿透與感應(yīng)的循環(huán)的重復(fù)，直到該物體的一預(yù)先定義部分被完全照射為止；(ii)在每一循環(huán)期間，使所述第一和第二輸出信號(hào)的其中之一被處理；及(iii)處理所述第一和第二輸出信號(hào)，以提供該物體的預(yù)先定義部分的狀態(tài)的一指示。