[發明專利]膜總成及具有所述膜總成的承載頭

有效

• 申請號: 201210175402.6
• 申請日: 2012-05-30
• 公開（公告）號: CN102806518A
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發明（設計）人: 孫準晧
• 申請（專利權）人: K.C.科技股份有限公司
• 主分類號: B24B37/27
• 分類號: B24B37/27
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 張世俊

1.一種在化學機械拋光設備中的承載頭的膜總成，其包含：

主要膜，其具有在執行化學機械拋光工藝時與圓片接觸的圓片接觸表面；以及圓形環，其安置于所述主要膜的邊緣部分處且接收空氣壓力以將所述空氣壓力向下施加至所述主要膜。

2.根據權利要求1所述的膜總成，其中所述圓形環具有中空剖面，所述中空剖面經形成以具有相對于所述圓片接觸表面傾斜的傾斜表面。

3.根據權利要求1所述的膜總成，其進一步包含劃分膜，所述劃分膜具有用于界定數個腔室的至少一個分割區且安置于所述主要膜的頂表面上。

4.根據權利要求2所述的膜總成，其中所述圓形環包含：外壁，其與所述主要膜的邊緣翼形部的內表面接觸；所述傾斜表面，其安置于所述外壁的相反表面處以將所述空氣壓力的方向自水平方向改變至垂直方向；以及向下突起，其從所述外壁及所述傾斜表面向下延伸。

5.根據權利要求1所述的膜總成，其中所述主要膜包含從所述主要膜的所述邊緣部分垂直地延伸的翼形部部分，及從所述翼形部部分延伸的邊緣腔室，所述邊緣腔室與所述傾斜表面接觸以便將所述空氣壓力施加至所述傾斜表面。

6.根據權利要求5所述的膜總成，其中所述邊緣腔室包含與所述圓形環的所述傾斜表面直接接觸的傾斜部分。

7.根據權利要求3所述的膜總成，其中所述劃分膜包含形成于所述劃分膜的頂表面上的環狀加壓突起。

8.根據權利要求3所述的膜總成，其中所述主要膜包含定位突起，所述定位突起形成于所述主要膜的所述頂表面上的位置處，對應于所述劃分膜的中心通孔。

9.根據權利要求3所述的膜總成，其中所述主要膜具有大于所述劃分膜的厚度。

10.根據權利要求3所述的膜總成，其中所述主要膜的所述邊緣部分包含邊緣翼形部，且所述邊緣翼形部包含向下形成于所述邊緣翼形部的內表面上且提供接收溝槽的突起部分。

11.一種在化學機械拋光設備中的承載頭的膜總成，其包含：

主要膜，其在其平坦底表面上提供圓片接觸表面且包含形成于邊緣部分處且接收空氣壓力的邊緣腔室；以及

圓形環，其耦合至所述主要膜且在其剖面上具有傾斜表面，所述傾斜表面接收來自所述邊緣腔室的空氣壓力且使所述空氣壓力轉向所述主要膜的所述底表面。

12.根據權利要求11所述的膜總成，其進一步包含劃分膜，所述劃分膜包含用于提供多個壓力腔室的至少一個分割區，且具有將被緊密附著至所述主要膜的頂表面的平坦底表面。

13.根據權利要求11所述的膜總成，其中所述圓形環經形成以具有具中空部分的剖面。

14.一種承載頭，其包含：

根據權利要求1至13中任一權利要求所述的膜總成；以及

空氣通路，其用于將壓力供應至所述膜總成的主要膜。