[發明專利]一種靜電消除裝置及卡匣

有效

• 申請號: 201210174035.8
• 申請日: 2012-05-30
• 公開（公告）號: CN102740578A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 李賢德;吳俊豪;林昆賢;朱二慶;齊明虎;楊衛兵
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: H05F3/04
• 分類號: H05F3/04
• 代理公司: 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280
• 代理人: 何青瓦;丁建春

技術領域

本發明涉及靜電消除技術領域，特別是涉及一種靜電消除裝置。本發明還涉及一種裝配有該靜電消除裝置的卡匣。

背景技術

目前，液晶顯示面板(LCD)等平面顯示器是電子產品必備的顯示裝置，在薄膜晶體管液晶顯示面板(TFT-LCD)的制造過程中，由于在各個工藝中的傳送中因接觸或摩擦經常造成玻璃基板(substrate)的表面產生靜電，而存在于玻璃基板表面的靜電會吸引周邊的微粒使其吸附在玻璃基板的表面而造成玻璃基板被污染甚至發生靜電釋放(ESD)障礙。此外，靜電會導致電荷的累積，當電荷累積到一定程度之后，經常會產生巨大的瞬間放電，進而造成設置在玻璃基板上的半導體元件損壞。再者，由于玻璃基板存放于卡匣(cassette)中，卡匣在搬運或運輸過程中也可能產生靜電。

為了解決靜電危害問題，目前液晶面板業通常采用兩種方法消除靜電，一種就是將設備接地，并且調整環境相對濕度，以達到使物體表面的靜電導出。另一種就是采用靜電消除器噴灑離子至玻璃基板表面以消除表面靜電。第二種方法一般是在卡匣四周外側分別設立四至六支的桿狀靜電消除器，以使層疊放置在卡匣內的每一片玻璃基板表面最大面積地接收到從靜電消除器噴嘴中所噴灑出的離子。然而，上述靜電消除方法中存在一定的缺陷：

1、靜電消除器是采用垂直站立的方式設置于卡匣四周，由于受卡匣支柱的阻擋，玻璃基板部分表面可能無法接收到自靜電消除器噴嘴噴灑的離子。

2、由于玻璃基板是以層疊的方式存放在卡匣內，所以每片玻璃基板僅能收到少數靜電消除器所噴灑出的離子，隨著玻璃基板尺寸的不斷加大，為了提高玻璃基板表面靜電的消除效果，只能采取多支靜電消除器才能獲得較理想的結果，但隨著靜電消除器的數量增多，定期更換、電力消耗等營運成本必然也會增加。

3、增加靜電消除器的數量除了會增加成本外，而且較多的靜電消除器受無塵室內氣流干涉較大。由于無塵室內存在有朝特定方向流動的氣流，且氣流方向往往與靜電消除器噴灑的路徑方向相沖突，將導致部分靜電消除器噴灑的路徑改變，嚴重影響靜電消除器的靜電去除效果。

發明內容

本發明提供了一種靜電消除裝置，主要用于解決現有技術中靜電消除成本消耗較高且效率低的問題。

本發明解決上述技術問題所采用的技術方案是：一種靜電消除裝置，用于消除大尺寸玻璃基板表面的靜電，包括：旋轉軸，所述旋轉軸設于所述玻璃基板的卡匣外側；靜電消除器，所述靜電消除器與所述旋轉軸相固定；其中，所述旋轉軸受驅動旋轉，帶動所述靜電消除器繞所述旋轉軸在一定角度內往復旋轉。

其中，所述靜電消除裝置進一步包括：固定軸，所述固定軸設于所述旋轉軸的一側且與所述旋轉軸平行；伸縮機構，所述伸縮機構的一端與所述固定軸固定連接，所述伸縮機構的另一端與所述旋轉軸轉動連接；且所述固定軸和所述旋轉軸之間的水平連線方向與所述伸縮機構的伸縮方向平行；短連桿，所述短連桿的一端與所述旋轉軸固定連接，另一端與所述靜電消除器固定連接。

其中，所述伸縮機構為氣缸機構。

其中，所述靜電消除器繞所述旋轉軸旋轉的角度為0～90度。

其中，所述靜電消除器包括桿體及多個放電針組，所述桿體的內部通有高壓氣體，所述多個放電針組沿所述桿體的豎直方向以一定間距設于所述桿體上。

其中，所述多個放電針組包括：放電針，所述放電針與所述桿體的豎直方向垂直設置，所述放電針的尖端持續放電，用于產生中和所述玻璃基板表面靜電的離子；噴嘴，所述噴嘴設于所述放電針的外圍，且所述噴嘴的開口方向與所述放電針的尖端所指方向一致；其中，所述噴嘴與所述桿體內部相連通，通入所述桿體內部的高壓氣體經由所述噴嘴將所述放電針產生的離子以一定噴灑角度噴灑至所述玻璃基板的表面。

其中，所述噴嘴為圓錐形結構，其展開的設計噴灑角度為35度。

其中，所述靜電消除裝置進一步包括伺服驅動馬達，所述伺服驅動馬達與所述旋轉軸相連，驅動所述旋轉軸在一定角度內自旋。

其中，所述靜電消除裝置的數量為兩組，分別對稱安裝在所述卡匣外側的對角處且與所述卡匣的底面垂直。

為解決上述技術問題，本發明采用的另一個技術方案是：提供一種一種卡匣，所述卡匣包括上述的靜電消除裝置，用于消除裝載于所述卡匣內的玻璃基板的表面靜電。