[發明專利]無掩膜光刻機曝光中實時添加字符串的方法

無效

• 申請號: 201210173904.5
• 申請日: 2012-05-31
• 公開（公告）號: CN102736935A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 張愛明;蔣興華
• 申請（專利權）人: 合肥芯碩半導體有限公司
• 主分類號: G06F9/445
• 分類號: G06F9/445;G03F7/20
• 代理公司: 合肥金安專利事務所 34114
• 代理人: 金惠貞

1.一種無掩膜光刻機曝光中實時添加字符串的方法，其特征在于包括以下步驟：

1）、通過計算機加載待曝光的圖形文件，并確定需要添加到圖形文件中去的字符或者字符串的位置、大小和組成；

2）、計算機在字符庫中尋找到所需要添加的字符或者字符串，并將字符或者字符串按照指定的位置和大小輸入到所述圖形文件中，然后保存即完成整個添加過程。

2.根據權利要求1所述的無掩膜光刻機曝光中實時添加字符串的方法，其特征在于：所述字符庫中存儲的字符至少包括大小寫字母、數字和可見符號。

3.根據權利要求2所述的無掩膜光刻機曝光中實時添加字符串的方法，其特征在于：所述字符庫中的任意一個字符均按照矢量數據保存，也即每一個字符都是由圍合成該字符外形的一系列點組成，此一系列點的坐標用于確定該字符的位置和大小。

4.根據權利要求3所述的無掩膜光刻機曝光中實時添加字符串的方法，其特征在于：所述字符庫包括用于字符查找和提取的字符庫文件頭結構和用于存儲字符矢量數據的字符庫文件數據區。

5.根據權利要求4所述的無掩膜光刻機曝光中實時添加字符串的方法，其特征在于：所述字符庫文件頭結構包括字符名稱、字符寬、字符高、字符數據起始地址和字符數據結束地址；所述字符庫文件數據區包括圍合成字符外形的一系列點的數量和每個點的坐標數據；

步驟2）中，計算機通過字符庫文件頭結構進行查找，找到所需要添加的字符以及字符在字符庫文件數據區中的保存位置，再將找到的字符的全部點坐標數據添加到已加載的圖形文件的矢量數據中，添加字符的全部點坐標數據時根據需要進行字符位置的平移和尺寸的縮放。

6.根據權利要求5所述的無掩膜光刻機曝光中實時添加字符串的方法，其特征在于：所述字符的每個點的坐標數據均為二維數據。

7.根據權利要求1～6中任一項所述的無掩膜光刻機曝光中實時添加字符串的方法，其特征在于：所述計算機加載的待曝光的圖形文件為GDSII、OASIS或GERBER格式的文件。