[發(fā)明專利]主動(dòng)靶及采用該主動(dòng)靶對(duì)束靶耦合傳感器在線標(biāo)定方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210173592.8
• 申請日: 2012-05-30
• 公開（公告）號(hào): CN102679875A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉炳國;劉國棟;陳鳳東;莊志濤;胡濤
• 申請（專利權(quán)）人: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): G01B11/00
• 分類號(hào): G01B11/00
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標(biāo)事務(wù)所 23109
• 代理人: 牟永林

1.主動(dòng)靶，其特征在于，它包括靶桿(1)、定位標(biāo)志(2)、支撐座(3)、第一電路板(4)、第二電路板(5)、上路CCD圖像傳感器(6)、下路CCD圖像傳感器(7)、第一外殼(8)和第二外殼(9)，

所述的支撐座(3)的一側(cè)固定有靶桿(1)，支撐座(3)和靶桿(1)同軸連接，支撐座(3)臨近靶桿(1)的一側(cè)的內(nèi)部固定有定位標(biāo)志(2)，支撐座(3)的另一側(cè)分別固定安裝第一外殼(8)和第二外殼(9)，第一外殼(8)和第二外殼(9)關(guān)于支撐座(3)和靶桿(1)的同軸線對(duì)稱分布，

第一電路板(4)和上路CCD圖像傳感器(6)位于第一外殼(8)的內(nèi)部，上路CCD圖像傳感器(6)固定于第一電路板(4)上方，位于遠(yuǎn)離支撐座(3)的一側(cè)，且上路CCD圖像傳感器(6)的光敏面暴露在殼體外側(cè)；

第二電路板(5)和下路CCD圖像傳感器(7)位于第二外殼(9)的內(nèi)部，第二電路板(5)與第一電路板(4)關(guān)于支撐座(3)和靶桿(1)的同軸線對(duì)稱，下路CCD圖像傳感器(7)固定于第二電路板(5)下方，與上路CCD圖像傳感器(6)關(guān)于支撐座(3)和靶桿(1)的同軸線對(duì)稱，且下路CCD圖像傳感器(7)的光敏面暴露在殼體外側(cè)；

在上路CCD圖像傳感器(6)的光敏面上和下路CCD圖像傳感器(7)的光敏面上，通過激光刻劃出3×3陣列的十字標(biāo)志，且上路CCD圖像傳感器(6)的光敏面與下路CCD圖像傳感器(7)的光敏面尺寸一致。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的主動(dòng)靶，其特征在于，上路CCD圖像傳感器(6)和下路CCD圖像傳感器(7)上激光刻劃出的十字標(biāo)志的十字線的寬度范圍均為：8μm～12μm。

3.基于權(quán)利要求1所述的采用該主動(dòng)靶對(duì)束靶耦合傳感器在線標(biāo)定方法，其特征在于，它包括下述步驟：

步驟一、將待標(biāo)定的束靶耦合傳感器送入真空靶室中心，通過外部監(jiān)測儀調(diào)整束靶耦合傳感器姿態(tài)，上路CCD圖像傳感器(6)的光敏面尺寸與待標(biāo)定的束靶耦合傳感器的上路CCD圖像傳感器(10)的光敏面尺寸一致；

步驟二、將主動(dòng)靶送入真空靶室中心，將主動(dòng)靶的靶桿(1)固定于靶架上，將主動(dòng)靶固定于束靶耦合傳感器的視場內(nèi)，通過束靶耦合傳感器的中上部監(jiān)測單元和中下部監(jiān)測單元檢測主動(dòng)靶的水平位置和姿態(tài)，并通過靶架將主動(dòng)靶調(diào)正；

步驟三、將束靶耦合傳感器移出真空靶室中心；

步驟四、打開激光器，產(chǎn)生上下各9路激光束，其中9路激光入射至主動(dòng)靶的上路CCD圖像傳感器(6)的光敏面上，在上路CCD圖像傳感器(6)的光敏面上形成9個(gè)光斑；另外9路激光入射至主動(dòng)靶的下路CCD圖像傳感器(7)的光敏面上，在下路CCD圖像傳感器(7)的光敏面上形成9個(gè)光斑；調(diào)整各個(gè)激光束的入射方向，使得上路CCD圖像傳感器(6)的光敏面上的9個(gè)光斑分別與該上路CCD圖像傳感器(6)上的9個(gè)十字標(biāo)志的中心重合、下路CCD圖像傳感器(7)的光敏面上的9個(gè)光斑分別與該下路CCD圖像傳感器(7)上的9個(gè)十字標(biāo)志的中心重合為止，關(guān)閉激光器；

步驟五、再將待標(biāo)定的束靶耦合傳感器送入靶室中心并調(diào)整好位置和姿態(tài)；

步驟六、通過束靶耦合傳感器上監(jiān)測單元和下監(jiān)測單元對(duì)主動(dòng)靶上下各9個(gè)十字標(biāo)志成像，獲得每個(gè)十字標(biāo)志在上路CCD圖像傳感器(6)和下路CCD圖像傳感器(7)的光敏面上的位置；

步驟七、打開激光器，激光束經(jīng)束靶耦合傳感器的反射鏡反射到待測傳感器的上路CCD圖像傳感器(10)和待測傳感器的下路CCD圖像傳感器(17)上，分別在上路CCD圖像傳感器(10)和下路CCD圖像傳感器(17)上形成9個(gè)光斑，束靶耦合傳感器上部監(jiān)測單元和中下部監(jiān)測單元分別進(jìn)行上下開合運(yùn)動(dòng)，使各自光斑與相應(yīng)十字標(biāo)志的中心位置距離最小，分別計(jì)算此時(shí)上路CCD圖像傳感器(10)上的9個(gè)光斑的中心位置與上路CCD圖像傳感器(6)的光敏面上9個(gè)十字標(biāo)志的中心位置的距離、下路CCD圖像傳感器(17)上的9個(gè)光斑的中心位置與下路CCD圖像傳感器(7)的光敏面上9個(gè)十字標(biāo)志的中心位置的距離，根據(jù)計(jì)算結(jié)果獲得束靶耦合誤差，從而實(shí)現(xiàn)在線標(biāo)定。