[發明專利]用于浸沒式光刻機的氣密封和氣液分離回收裝置

有效

• 申請號: 201210172953.7
• 申請日: 2012-05-30
• 公開（公告）號: CN102707580A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 傅新;陳文昱;徐寧
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;B01D46/12
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 林懷禹

1.一種用于浸沒式光刻機的氣密封和氣液分離回收裝置，在浸沒式光刻機中的投影物鏡組（1）和硅片（3）之間裝有的氣密封和氣液分離回收裝置；其特征在于：所述氣密封和氣液分離回收裝置包括密封和注液回收裝置（2）、氣液分離片組（4）和液體回收片組（5）；密封和注液回收裝置（2）由浸沒單元前端蓋（2A）和浸沒單元后端蓋（2B）組成；其中：

1）浸沒單元后端蓋（2B）：

在浸沒單元后端蓋（2B）開有中心通孔，在浸沒單元后端蓋（2B）的中心通孔向外的七個同心圓上分別依次開有四個等分的注液槽（6B），兩個液體回收槽（7A）、兩個氣體回收槽（7B）、兩個內密封注氣槽（8B）、兩個內密封氣體回收槽（9B）、兩個外密封氣體回收槽（10B）和兩個外密封注氣槽（11B）；

2）浸沒單元前端蓋（2A）：

在浸沒單元前端蓋（2A）開有中心通孔，浸沒單元前端蓋（2A）的中心通孔向外依次嵌套有五個各自連續的環狀圓柱腔體，五個環狀圓柱腔向外依次為回收孔腔、內層注氣壓力緩沖腔（8A）、內層氣體回收腔（9A）、外層氣體回收腔（10A）和外層注氣壓力緩沖腔（11A），在位于前端蓋中心通孔和回收孔腔之間的浸沒單元前端蓋（2A）的端面圓環上開有中心對稱均布的四個相同的注液腔（6A），四個注液腔（6A）內均開有沿圓周方向排列的注液孔陣列（6C），回收孔腔內底面上開有回收孔陣列（7），內層注氣壓力緩沖腔（8A）內開有沿圓周方向排列的內層注氣孔陣列（8C），外層注氣壓力緩沖腔（11A）內開有沿圓周方向排列的外層注氣孔陣列（11C），內層氣體回收腔（9A）和外層氣體回收腔（10A）內均開有中心對稱均布的十二個槽，回收孔陣列（7）由均勻密布的微孔組成；

所述的浸沒單元前端蓋（2A）上端與浸沒單元后端蓋（2B）下端的結合面均為平面，并通過螺釘緊固連接；

3）氣液分離片組（4）：

由七個圓環形的氣液分離片疊放在一起組成氣液分離片組（4），七個氣液分離片的外側與回收孔腔的外側壁緊貼，七個氣液分離片上開有對應相通且均勻密布的微孔，七個氣液分離片中位于下面的六個氣液分離片的內側連續開有朝向浸沒單元后端蓋（2B）的斜面，七個氣液分離片位于最下面的一個氣液分離片與前端蓋（2A）的回收孔腔內底面接觸，七個氣液分離片上開有的微孔與回收孔陣列（7）的微孔對應相通，由七個氣液分離片上微孔形成的多道微管路與氣體回收槽（7B）相通；

4）液體回收片組（5）：

由七個圓環形的液體回收片疊放在一起組成液體回收片組（5），七個液體回收片的內側與回收孔腔的內側壁緊貼，七個液體回收片上開有對應相通且均勻密布的微孔，七個液體回收片位于最下面的兩個液體回收片的外側開有朝向硅片（3）的斜面，七個液體回收片位于最下面的一個液體回收片與前端蓋（2A）的回收孔腔內底面接觸，七個液體回收片上開有的微孔與回收孔陣列（7）的微孔對應相通，由七個液體回收片上微孔形成的多道微管路與液體回收槽（7A）相通。

2.根據權利要求1所述的一種用于浸沒式光刻機的氣密封和氣液分離回收裝置，其特征在于：所述的四個注液槽（6B）分別與各自的注液腔（6A）相通，兩個內密封注氣槽（8B）均與內層注氣壓力緩沖腔（8A）相通，兩個內密封氣體回收槽（9B）均與內層氣體回收腔（9A）相通，外密封氣體回收槽（10B）均與外層氣體回收腔（10A）相通，兩個外密封注氣槽（11B）均與外層注氣壓力緩沖腔（11A）相通。

3.根據權利要求1所述的一種用于浸沒式光刻機的氣密封和氣液分離回收裝置，其特征在于：所述的注液孔陣列（6C）、內層注氣孔陣列（8C）和外層注氣孔陣列（11C）均由沿圓周方向排列的微孔組成。