[發明專利]非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔系統及清潔方法

無效

• 申請號: 201210171470.5
• 申請日: 2012-05-30
• 公開（公告）號: CN102698996A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 何文;俞遠高;徐娜;成惠峰;孫大會
• 申請（專利權）人: 圣睿太陽能科技（鎮江）有限公司
• 主分類號: B08B9/22
• 分類號: B08B9/22
• 代理公司: 鎮江京科專利商標代理有限公司 32107
• 代理人: 夏哲華

1.一種非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔系統，其特征是：它包括有一個清潔箱（1），清潔箱（1）的底部設置有雜質收集斗（16）；清潔箱（1）通過蒸汽管道（3）與蒸汽發生裝置（4）連接，并可對清潔箱內進行蒸汽熏蒸；清潔箱上還設置有安裝有泄壓閥（11）的排汽口（12）；該系統還包括有一個可對熏蒸后的非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱進行加熱干燥的烘箱。

2.根據權利要求1所述的非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔系統，其特征是：蒸汽發生裝置（4）包括有一個加熱水箱（41），加熱水箱內設置有電加熱裝置（42），加熱水箱上設置有進水口（43）和與所述蒸汽管道連接的蒸汽出口（44）。

3.根據權利要求1或2所述的非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔系統，其特征是：清潔箱（1）的一側設置有一個可打開的密封門（13），清潔箱（1）內設置有可對非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱的送入進行導向的導軌（14）。

4.根據權利要求1或2所述的非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔系統，其特征是：雜質收集斗（16）上方設置有多孔鋼板（15）。

5.一種非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔方法，其特征是：在權利要求1所述的非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔系統中，先將非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱安置在封閉的清潔箱中，由蒸汽發生裝置通入水蒸汽加熱熏蒸后，使硅膜雜質吸水而減小附著力并部分脫落；然后將非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱移出清潔箱冷卻后，再將非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱移至烘箱中加熱烘干；保溫一定時間后再將非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱移出烘箱冷卻，完成非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱的清潔。