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[發(fā)明專利]帶有有序空心球陣列的TiO2/C復(fù)合電極薄膜的制備方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201210171417.5 申請日: 2012-05-29
公開(公告)號: CN102682925A 公開(公告)日: 2012-09-19
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 張煜欣;吳摞;葉長輝 申請(專利權(quán))人: 中國科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院
主分類號: H01B13/00 分類號: H01B13/00
代理公司: 北京凱特來知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11260 代理人: 鄭立明;趙鎮(zhèn)勇
地址: 230031 安徽*** 國省代碼: 安徽;34
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 帶有 有序 空心球 陣列 tio sub 復(fù)合 電極 薄膜 制備 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種帶有有序空心球陣列的TiO2/C復(fù)合電極薄膜的制備方法,其特征在于,包括步驟:

導(dǎo)電玻璃片預(yù)處理;

在所述導(dǎo)電玻璃片上制備聚苯乙烯微球模板:使用旋涂儀在所述導(dǎo)電玻璃片上旋涂制備單層或多層密排聚苯乙烯微球的模板;

TiO2薄膜的制備:配制成濃度為40mM的TiCl4水溶液,放入70℃的恒溫水箱中,保溫5分鐘以上,然后把帶有聚苯乙烯微球模板的導(dǎo)電玻璃片水平放入其中,沉積30min后,水平取出導(dǎo)電玻璃片,室溫條件下,自然晾干;

高溫退火:將沉積過TiO2薄膜的樣品放入退火爐中,在氬氣氣氛下,450℃退火2小時。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有有序空心球陣列的TiO2/C復(fù)合電極薄膜的制備方法,其特征在于,所述導(dǎo)電玻璃片預(yù)處理步驟包括:依次用丙酮、無水乙醇、去離子水超聲清洗導(dǎo)電玻璃片。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有有序空心球陣列的TiO2/C復(fù)合電極薄膜的制備方法,其特征在于,所述在導(dǎo)電玻璃片上制備聚苯乙烯微球模板步驟中:

聚苯乙烯微球溶液濃度為2.5%(質(zhì)量分?jǐn)?shù)),使用旋涂儀在導(dǎo)電玻璃片上旋涂聚苯乙烯球溶液后,用等離子體清洗機(jī)刻蝕聚苯乙烯球,并通過控制刻蝕時間改變聚苯乙烯球的間距。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有有序空心球陣列的TiO2/C復(fù)合電極薄膜的制備方法,其特征在于,所述TiO2薄膜的制備步驟中:

將0.44ml的TiCl4加入到100ml的冷水中配制成濃度為40mM的TiCl4水溶液,水溫保持0-2℃。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

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