[發明專利]一種多晶硅爐

有效

• 申請號: 201210169843.5
• 申請日: 2012-05-28
• 公開（公告）號: CN102703976A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 符寒光;蔣志強;馮錫蘭;劉建偉;魏永強
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B28/06;C22C38/54
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203
• 代理人: 張慧

1.一種多晶硅爐，其特征在于，包括耐熱鋼、六鈦酸鉀晶須隔熱磚、加熱裝置、Al₂O₃耐火磚、坩堝和鋼板組成，多晶硅爐的爐身的外殼為鋼板，在鋼板內層貼有六鈦酸鉀晶須隔熱磚層，在隔熱磚層內層還有Al₂O₃耐火磚層，并將坩堝置于多晶硅爐Al₂O₃耐火磚層構成的空腔內，在坩堝和Al₂O₃耐火磚層之間的空間內放置加熱裝置，在多晶硅爐的上方還設置了一個取料蓋，取料蓋是將六鈦酸鉀晶須隔熱磚鑲嵌在耐熱鋼中，直接蓋在節能多晶硅爐的爐身上。

2.按照權利要求1的一種多晶硅爐，其特征在于，六鈦酸鉀晶須隔熱磚的厚度為100～120mm，在隔熱磚內部加入Al₂O₃耐火磚的厚度為35～50mm。

3.按照權利要求1的一種多晶硅爐，其特征在于，外殼鋼板為低碳鋼，其厚度是12～15mm。

4.按照權利要求1的一種多晶硅爐，其特征在于，六鈦酸鉀晶須隔熱磚由質量比90～92％的六鈦酸鉀晶須和質量比8～10％的硅溶膠混合制成隔熱磚，并經750～800℃焙燒2～3h而成。

5.按照權利要求1的一種多晶硅爐，其特征在于，耐熱鋼由質量比0.05-0.12%C、0.4-1.2%Si、0.3-0.8%Mn、19.0-23.0%Cr、0.4-0.6%Mo、30.0-34.0%Ni、1.9-2.2%Nb、0.8-1.2%Al、0.05-0.12%Ce、0.06-0.10%Mg、0.008-0.012%B、S<0.03%、P<0.04%和余量Fe組成的合金鋼通過熔煉和鑄造而成。

6.按照權利要求1的一種多晶硅爐，其特征在于，加熱裝置至少包括3個獨立的加熱器，分別位于坩堝外上、中、下，自坩堝的底部與坩堝同高將坩堝圍住，每個獨立的加熱器均有獨立的電源開關控制。

7.按照權利要求6的一種多晶硅爐，其特征在于，加熱裝置包括6-9個獨立的加熱器。