[發明專利]抗蝕刻組合物及其應用

有效

• 申請號: 201210167830.4
• 申請日: 2012-05-25
• 公開（公告）號: CN102786838A
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發明（設計）人: 謝沛蓉;許再發;蕭伯卓
• 申請（專利權）人: 長興化學工業股份有限公司
• 主分類號: C09D11/10
• 分類號: C09D11/10;H01L31/18
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 王海川;穆德駿

1.一種抗蝕刻組合物，其特征在于包含一聚合物及一第一有機溶劑，所述聚合物由包含苯乙烯類單體與丙烯酸酯類單體的聚合單元共聚而成，其中所述聚合物的重均分子量為至少約35000，且以所述抗蝕刻組合物的總重量計，所述聚合物的含量為約20.0重量%至約60.0重量%，所述第一有機溶劑的含量為約40.0重量%至約80.0重量%。

2.如權利要求1所述的抗蝕刻組合物，其特征在于所述苯乙烯類單體選自由苯乙烯、4-氯-α-甲基苯乙烯、α-甲基苯乙烯、4-甲基苯乙烯、α-乙基苯乙烯、4-乙基苯乙烯、3-甲基苯乙烯、4-丙基苯乙烯、4-環己基苯乙烯、二乙烯基苯、3-甲氧基-α-硝基苯乙烯、硝基苯乙烯、氟苯乙烯、溴苯乙烯、氯苯乙烯、氯甲基苯乙烯、氨基苯乙烯、4-甲氧基苯乙烯、4-乙氧基苯乙烯、羥基苯乙烯、乙酰氧基苯乙烯、1-乙烯基萘、2-乙烯基萘、4-十二烷基苯乙烯、2-乙基-4-苯甲基苯乙烯、4-(苯基丁基)苯乙烯及它們的組合所組成的組。

3.如權利要求1所述的抗蝕刻組合物，其特征在于所述丙烯酸類單體為低極性的丙烯酸酯單體。

4.如權利要求3所述的抗蝕刻組合物，其特征在于所述低極性的丙烯酸酯單體選自由丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸異丁酯、甲基丙烯酸異丁酯、丙烯酸2-苯氧基乙酯、丙烯酸2-(2-乙氧基乙氧基)乙酯、環狀三羥甲基丙烷甲縮醛丙烯酸酯、丙烯酸異辛酯、甲基丙烯酸異辛酯、丙烯酸異癸酯、丙烯酸2-乙基己酯、乙氧基化1,6-己二醇二丙烯酸酯、二丙二醇二丙烯酸酯、乙氧基化二丙二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、丙氧基化新戊二醇二丙烯酸酯、2-甲基-1,3-丙二醇二丙烯酸酯、乙氧基化2-甲基-1,3-丙二醇二丙烯酸酯、2-丁基-2-乙基-1,3-丙二醇二丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、二乙二醇二甲基丙烯酸酯、三(2-羥基乙基)異氰脲酸丙烯酸酯、丙氧基化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、乙氧基化季戊四醇四丙烯酸酯、二-三羥甲基丙烷四丙烯酸酯、丙氧基化季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化甘油三(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二甲基丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯及它們的組合所組成的組。

5.如權利要求1所述的抗蝕刻組合物，其特征在于所述第一有機溶劑選自由甲苯、2,2,4-三甲基-1,3-戊二醇單異丁酸酯、2,2,4-三甲基-1,3-戊二醇雙異丁酸酯、丙二醇單甲醚醋酸酯、甲基乙基酮、甲基正戊基酮、環己酮、N,N-二甲基乙胺、N-甲基吡咯烷酮、1,3-環己二甲胺、聚馬來酸、丁基卡必醇醋酸酯、二乙二醇單乙醚醋酸酯、二乙二醇、乙二醇單丁醚醋酸酯、2,4-二甲基-3-戊酮、環己烷、戊二酸二甲酯、丁二酸二甲酯、己二酸二甲酯、醋酸丁酯、松油醇、乙二醇苯醚、二乙二醇單丁醚、尼龍酸二甲酯及它們的組合所組成的組。

6.如權利要求1所述的抗蝕刻組合物，還包含一觸變劑。

7.如權利要求6所述的抗蝕刻組合物，其特征在于所述觸變劑選自由無機硅酸鹽、二氧化硅、有機膨潤土、石棉、高嶺土、凹凸棒土、碳酸鈣、乳液法聚氯乙烯、酰胺蠟、聚乙烯蠟、蓖麻油衍生物、山梨醣醇、來自植物油的聚合物、聚氨酯、金屬皂、及它們的組合所組成的組。

8.如權利要求6所述的抗蝕刻組合物，其特征在于以所述抗蝕刻組合物的總重量計，所述觸變劑的含量為約0.1重量%至約5.0重量%。

9.如權利要求1所述的抗蝕刻組合物，還包含一分子量小于約100000的粘附促進劑。

10.如權利要求9所述的抗蝕刻組合物，其特征在于所述粘附促進劑選自由硅烷偶聯劑、磷酸酯、鈦酸酯、鋯酸酯、氯化聚烯烴及它們的組合所組成的組。

11.如權利要求9所述的抗蝕刻組合物，其特征在于以所述抗蝕刻組合物的總重量計，所述粘附促進劑的含量為約1.0重量%至約5.0重量%。