[發(fā)明專利]新型Mach-Zehnder偏振分束干涉儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210167606.5
• 申請日: 2012-05-28
• 公開（公告）號: CN102706461A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄭光金;高業(yè)勝;趙耀;全治科;韓正英;劉志明;李國超;陳振琳
• 申請（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團公司第四十一研究所
• 主分類號: G01J9/02
• 分類號: G01J9/02;G01M11/02;G01L1/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種新型Mach-Zehnder偏振分束干涉儀，其特征在于，所述干涉儀由偏振分束棱鏡(1)、兩組反射鏡組、半波片(2)、合束棱鏡(9)、擋光板(6)和光電探測器(10)組成，且均由各自對應(yīng)的四維微調(diào)支架置于光學平臺上；所述兩組反射鏡組為直角反射鏡(4)和全反射鏡(5)組成一組；直角反射鏡(7)和全反射鏡(8)組成一組。

2.如權(quán)利要求1所述的新型Mach-Zehnder偏振分束干涉儀的應(yīng)用，其特征在于，橢圓偏振光垂直入射到偏振分束棱鏡(1)上，偏振分束棱鏡(1)能夠?qū)⑷肷錂E圓偏振光分成S光和P光兩路線偏振光，且從偏振分束棱鏡(1)的兩個垂直面上輸出；半波片(2)起偏方向與S光成45度夾角；精密位移臺(3)可以帶動全反射鏡(5)進行精密位移掃描；擋光板(6)能夠根據(jù)測試需要切斷干涉儀的P光通道，S光經(jīng)過一個半波片(2)后，偏振方向發(fā)生90°偏轉(zhuǎn)，變成P’光，再經(jīng)過直角反射鏡(4)、全反射鏡(5)后和另一個干涉臂中經(jīng)過直角鏡(7)和全反射鏡(8)后的P光一同進入合束棱鏡(9)，最后被光電探測器(10)所接收。