[發(fā)明專利]一種硅片檢測儀無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210164856.3 | 申請日： | 2012-05-24 |
| 公開（公告）號： | CN102680322A | 公開（公告）日： | 2012-09-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 史志和;王康;張凱 | 申請（專利權(quán)）人： | 天津英利新能源有限公司 |
| 主分類號： | G01N3/08 | 分類號： | G01N3/08;G01B5/30 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏曉波 |
| 地址： | 301510 天津市濱海新區(qū)津漢公*** | 國省代碼： | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 硅片 檢測 | ||
1.一種硅片檢測儀，其特征在于，包括支撐體（1）、千分表（2）和砝碼（3）；所述支撐體（1）具有支撐面水平的支撐件（11），所述支撐件（11）支撐待測硅片（4）的周部；所述支撐件（11）的外側(cè)具有定位件（12），所述定位件（12）的內(nèi)側(cè)接觸所述待測硅片（4），所述待測硅片（4）每邊接觸至少一個所述定位件（12）；所述千分表（2）位于所述支撐體（1）內(nèi)部，所述千分表（2）指針的中心線穿過所述待測硅片（4）的幾何中心；所述砝碼（3）的組合能夠組成預(yù)定的重量，并放置在所述待測硅片（4）的中央。
2.如權(quán)利要求1所述的硅片檢測儀，其特征在于，所述支撐件（11）為至少三個支撐柱，所述支撐柱均勻分布在所述待測硅片（4）的周部。
3.如權(quán)利要求2所述的硅片檢測儀，其特征在于，所述支撐件（11）設(shè)置為四個所述支撐柱，四個所述支撐柱分別位于所述待測硅片（4）的四角。
4.如權(quán)利要求3所述的硅片檢測儀，其特征在于，所述待測硅片（4）每邊接觸兩個所述定位件（12），所述待測硅片（4）每條邊外側(cè)的兩個所述定位件（12）均位于此邊的兩端。
5.如權(quán)利要求4所述的硅片檢測儀，其特征在于，所述定位件（12）為定位塊，相鄰側(cè)面的所述定位塊的內(nèi)側(cè)構(gòu)成直角結(jié)構(gòu)。
6.如權(quán)利要求4所述的硅片檢測儀，其特征在于，所述定位件（12）為定位柱。
7.如權(quán)利要求1至6任一項所述的硅片檢測儀，其特征在于，所述支撐柱的支撐端為球面。
8.如權(quán)利要求1至6任一項所述的硅片檢測儀，其特征在于，所述支撐柱的支撐端為平面。
9.如權(quán)利要求1所述的硅片檢測儀，其特征在于，所述支撐件（11）為支撐框架，所述定位件（12）為定位框架。
10.如權(quán)利要求9所述的硅片檢測儀，其特征在于，所述支撐框架與所述定位框架為一體結(jié)構(gòu)。
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