[發(fā)明專(zhuān)利]蒸氣輸送裝置及其制造和使用方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210164806.5
• 申請(qǐng)日: 2012-05-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102796996A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-11-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: E·沃克;R·L·小迪卡洛
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 羅門(mén)哈斯電子材料有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/455
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/455
• 代理公司: 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 江磊

1.一種輸送系統(tǒng)，其包括：

一種輸送裝置，其包括入口和出口；

第一比例閥;所述輸送裝置與所述第一比例閥操作連通;所述第一比例閥基于施加的電壓進(jìn)行操作來(lái)控制所述載氣的流量;

化學(xué)傳感器;所述化學(xué)傳感器設(shè)置在所述輸送裝置的下游，所述化學(xué)傳感器進(jìn)行操作來(lái)分析從所述輸送裝置排出的流體物流的化學(xué)含量;所述化學(xué)傳感器與所述第一比例閥連通;以及

第一壓力/流量控制器，該第一壓力/流量控制器與所述化學(xué)傳感器和第一比例閥操作連通;所述輸送系統(tǒng)進(jìn)行操作，向與所述輸送系統(tǒng)連通的多個(gè)反應(yīng)器輸送基本恒定摩爾數(shù)前體蒸氣/單位體積載氣。

2.如權(quán)利要求1所述的輸送系統(tǒng),其特征在于，所述第一比例閥位于輸送裝置的上游，與所述第一壓力/流量控制器電連通。

3.如權(quán)利要求1所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括：壓力傳感器，所述壓力傳感器與所述輸送裝置流體連通;第二比例閥和第二壓力/流量控制器;所述第二比例閥與所述第二壓力/流量控制器電連通。

4.如權(quán)利要求1所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于，所述第一壓力/流量控制器、第一比例閥、輸送裝置和化學(xué)傳感器處于第一閉合回路中。

5.如權(quán)利要求3所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于，所述第二壓力/流量控制器、第二比例閥、和壓力傳感器處于第二閉合回路中。

6.如權(quán)利要求1所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于，所述輸送系統(tǒng)進(jìn)行操作，在溫度等于或高于60℃、壓力等于或大于900托的條件下，以等于或大于1標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘的載氣流速、等于或大于1500毫摩爾/分鐘的速率輸送固體前體化合物的蒸氣。

7.如權(quán)利要求1所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于，在將前體蒸氣輸送到多個(gè)反應(yīng)器之前，所述輸送系統(tǒng)進(jìn)行操作，將所述前體蒸氣的露點(diǎn)降至低于常溫。

8.如權(quán)利要求1所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于，所述輸送系統(tǒng)中所有的流動(dòng)都是單向的，任何流動(dòng)都不是彼此反向的。

9.一種方法，所述方法包括：

將載氣的第一物流傳輸?shù)捷斔脱b置;所述輸送裝置包括前體化合物;所述載氣的第一物流的溫度等于或高于20°C;

將載氣的第二物流傳輸?shù)捷斔脱b置下游的位置;所述第一物流的流動(dòng)方向和第二物流的流動(dòng)方向不是彼此反向的;以及

合并所述第一物流和第二物流，以形成第三物流;所述第三物流中的前體化合物蒸氣的露點(diǎn)低于常溫。

10.如權(quán)利要求9所述的方法,該方法還包括將信號(hào)從設(shè)置在所述第三物流中的化學(xué)傳感器傳輸?shù)降谝粔毫?流量調(diào)節(jié)器和/或第二壓力/流量調(diào)節(jié)器,所述第一壓力/流量調(diào)節(jié)器進(jìn)行操作來(lái)控制第一物流中的載氣的流速,所述第二壓力/流量調(diào)節(jié)器進(jìn)行操作來(lái)控制所述第二物流中的載氣的流速。