[發明專利]用于清洗襯底的方法有效
| 申請號： | 201210164517.5 | 申請日： | 2006-06-15 |
| 公開（公告）號： | CN102688867A | 公開（公告）日： | 2012-09-26 |
| 發明（設計）人： | J·M·德拉里奧斯;M·拉夫金;J·法伯;M·科羅利克;F·C·雷德克爾 | 申請（專利權）人： | 蘭姆研究有限公司 |
| 主分類號： | B08B7/00 | 分類號： | B08B7/00;B08B3/00;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 譚佐晞;楊國治 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 清洗 襯底 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于清洗襯底的方法，包括：
以非牛頓流體填充腔室，該腔室具有輸入端和輸出端；
在輸入端將襯底引入到腔室中，并且將懸浮的襯底懸浮在非牛頓流體中；
關閉到輸入端的通道；以及
迫使另外非牛頓流體進入腔室，從而非牛頓流體的流在襯底的表面移動并且非牛頓流體在輸出端流出。
2.權利要求1的方法，進一步包括：
當非牛頓流體能流動通過腔室時，阻止襯底在腔室中的移動。
3.權利要求1的方法，進一步包括：
當迫使另外非牛頓流體時，激活銷以阻止襯底移動到輸出端，銷接觸襯底的邊緣。
4.權利要求3的方法，進一步包括：
釋放銷以使得襯底能夠離開輸出端。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于蘭姆研究有限公司，未經蘭姆研究有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201210164517.5/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：蝕刻液及導體圖案的形成方法
- 下一篇：可撓式顯示面板的制造方法
