[發明專利]具有氧化涂層的抗腐蝕、含釔金屬的等離子體室部件

有效

• 申請號: 201210163630.1
• 申請日: 2008-12-10
• 公開（公告）號: CN102732857A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 詹尼弗·Y·孫;徐理;肯尼思·S·柯林斯;托馬斯·格瑞斯;段仁官;賽恩·撒奇
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;H01J37/32
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 王安武

1.一種制造物體的方法，所述物體具有金屬或金屬合金襯底，所述方法包括：

在所述金屬或金屬合金襯底的表面上形成氧化物涂層，其中使用熱氧化處理形成所述氧化物涂層，其中所述熱氧化處理包括：使用時間溫度分布將所述金屬或金屬合金襯底暴露于包括氧的周圍環境保持一段時間；所述時間溫度分布包括：初始快速地加熱所述金屬或金屬合金襯底至期望的最高溫度；在所述最高溫度段將所述襯底保持標稱時間；以及逐漸降低所述襯底的溫度，直到所述氧化物涂層的形成速率實質停止為止，其中所述金屬或金屬合金包括釔、釹、釤、鋱、鏑、鉺、鐿、鈧、鉿、鈮、或其組合。

2.如權利要求1所述的制造物體的方法，其中初始快速加熱的速率為約20℃/分～約100℃/分。

3.如權利要求2所述的制造物體的方法，其中所述襯底所保持的所述最高溫度為約700℃～約1050℃。

4.如權利要求3所述的制造物體的方法，其中所述襯底保持在所述最高溫度的所述段時間為約5分～約5小時。

5.如權利要求4所述的制造物體的方法，其中由所述最高溫度而降低溫度的速率為約10℃/分～約0.5℃/分，直到氧化反應實質停止為止。

6.如權利要求5所述的制造物體的方法，其中所述氧化反應實質停止的溫度為約400℃～約100℃。

7.如權利要求6所述的制造物體的方法，其中在所述氧化反應終止之后，所述襯底以約25℃/分～約35℃/分的冷卻速率而快速地冷卻至周圍溫度。

8.如權利要求3所述的制造物體的方法，其中所述金屬或金屬合金包括釔，且其中添加摻雜劑，所述摻雜劑選自由鎂、鋁、銅、鈣及其組合所組成的群組。