[發明專利]氣體傳感器的光學氣體多程腔

有效

• 申請號: 201210162339.2
• 申請日: 2012-05-18
• 公開（公告）號: CN102680419A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 馬全勝;向世清;何紅
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01N21/31
• 分類號: G01N21/31;G01N21/01
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種氣體傳感器的光學氣體多程腔，特征在于該多程腔由外腔鏡（1）、內腔鏡（2）、前腔板（4）和后腔板（3）構成；

所述的外腔鏡（1）是一個球殼由兩個與該球殼的球心共線等距的平行平面切割的圓環形殼體，該圓環形殼體的內表面為高反射的鏡面（6），該外腔鏡（1）的中心為所述的球殼的球心；

所述的內腔鏡（2）是由四個曲率半徑全同的外表面為凹面的第一柱面鏡（7）、第二柱面鏡（8）、第三柱面鏡（9）和第四柱面鏡（10）依次邊邊相連接構成的正四凹面柱體；

所述的前腔板（4）和后腔板（3）設有多個對應的通氣孔；

所述的內腔鏡（2）置于所述的外腔鏡（1）中并固定在所述的前腔板（4）和后腔板（3）之間，所述的外腔鏡（1）和內腔鏡（2）的中軸線重合并垂直于所述的前腔板（4）、后腔板（3），所述的內腔鏡（2）的正四凹面柱體的中心與所述的該外腔鏡（1）的中心重合；

所述的外腔鏡（1）上設有光束入射孔（12），該光束入射孔（12）的中心與所述的外腔鏡（1）的球心的連線與所述的第一柱面鏡（7）和第三柱面鏡（9）頂點（頂點位于與系統中心軸垂直且過所述外腔鏡（1）的球心的面內）連線之間的夾角為42°-48°之間，所述的內腔鏡（2）的柱面鏡的曲率半徑比所述的外腔鏡（1）的球面鏡（6）的曲率半徑大。

2.根據權利要求1所述的光學氣體多程腔，其特征在于所述的通氣孔的氣孔大小和數量由通氣需求確定，所述的通氣孔上加裝過濾網，以過濾惡劣環境中的干擾物質。

3.根據權利要求1或2所述的光學氣體多程腔，其特征在于所述的外腔鏡（1）上還設有光束出射孔（13）。