[發明專利]晶體生長爐的水冷籽晶桿熱交換裝置

無效

• 申請號: 201210160203.8
• 申請日: 2012-05-22
• 公開（公告）號: CN102677159A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 惠夢君;于永貴;徐向眾;徐瑞豐;楊勝建
• 申請（專利權）人: 無錫力匯光電科技有限公司
• 主分類號: C30B17/00
• 分類號: C30B17/00;C30B29/20;C30B35/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 楊小雙

1.一種晶體生長爐的水冷籽晶桿熱交換裝置，其包括水冷籽晶桿、連桿以及籽晶夾，其特征在于，所述水冷籽晶桿包括外管和套于外管內的內管，所述內管與外管之間形成水冷流道，且兩者之間通過擋水板將水冷流道分割成底部連通的兩個區域，配合該兩個區域于所述外管上對應開設進、出水口，上法蘭和底部法蘭密封連接內管和外管的兩端；中間法蘭設置于外管上的進、出水口的下方，所述籽晶夾由引桿和夾頭組成，所述引桿的一端連接夾頭，另一端連接連桿，所述連桿穿入內管中與稱重傳感器連接。

2.根據權利要求1所述的晶體生長爐的水冷籽晶桿熱交換裝置，其特征在于，所述擋水板將水冷流道均分為兩個區域。

3.根據權利要求1所述的晶體生長爐的水冷籽晶桿熱交換裝置，其特征在于，所述進、出水口均設置于距外管頂端的20mm處。

4.根據權利要求1所述的晶體生長爐的水冷籽晶桿熱交換裝置，其特征在于，所述內、外管為不銹鋼管，所述擋水板為長條狀不銹鋼板，所述上法蘭為T型不銹鋼法蘭，底部法蘭和中間法蘭均由不銹鋼制成。

5.根據權利要求1所述的晶體生長爐的水冷籽晶桿熱交換裝置，其特征在于，所述連桿為不銹鋼材質的圓棒。

6.根據權利要求1所述的晶體生長爐的水冷籽晶桿熱交換裝置，其特征在于，所述引桿和夾頭均由鉬質材料制成。

7.根據權利要求1或4任一項所述的晶體生長爐的水冷籽晶桿熱交換裝置，其特征在于，所述上法蘭和底部法蘭與內管和外管的兩端焊接密封連接。