[發(fā)明專利]用于光刻設(shè)備的對準(zhǔn)信號處理裝置及對準(zhǔn)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210159468.6
• 申請日: 2012-05-22
• 公開（公告）號: CN103425006A
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程鵬;王海江;唐文力
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00;G03F7/20
• 代理公司: 北京連和連知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278
• 代理人: 王光輝

1.一種用于光刻設(shè)備的對準(zhǔn)信號處理裝置，其特征在于，包括：

一對準(zhǔn)信號轉(zhuǎn)換模塊，用于將所述對準(zhǔn)信號轉(zhuǎn)換為一待解調(diào)信號；

一相位差檢驗(yàn)?zāi)K，用于采集一參考信號，并檢測所述待解調(diào)信號與所述參考信號的相位

差；

一參考信號再生模塊，根據(jù)所述相位差對所述參考信號進(jìn)行延遲并生成一正弦參考信

號；

一解調(diào)模塊，用于根據(jù)所述正弦參考信號對所述待解調(diào)信號進(jìn)行解調(diào)。

2.如權(quán)利要求1所述的用于光刻設(shè)備的對準(zhǔn)信號處理裝置，其特征在于，所述對準(zhǔn)信號轉(zhuǎn)換

模塊包括：

???一光電傳感器，用于將所述對照信號轉(zhuǎn)換為調(diào)制電流信號；

???一前置放大器，用于將所述調(diào)制電流信號轉(zhuǎn)換為調(diào)制電壓信號；

一可變增益放大器，用于將所述調(diào)制電壓信號調(diào)整至設(shè)定幅值；

一帶通濾波器，用于濾除所述調(diào)制電壓信號中的直流成分和其它干擾成分。

3.如權(quán)利要求1所述的用于光刻設(shè)備的對準(zhǔn)信號處理裝置，其特征在于，所述相位差檢驗(yàn)?zāi)K包括一參考信號采樣器和一相位差檢測器。

4.如權(quán)利要求1所述的用于光刻設(shè)備的對準(zhǔn)信號處理裝置，其特征在于，所述參考信號再生模塊包括一延時(shí)控制器以及一正弦信號生成器。

5.一種用于光刻設(shè)備的對準(zhǔn)裝置，包括：

一激光光源模塊，用于提供照明光束；

一光學(xué)模塊，用于將所述照明光束標(biāo)記上，形成一光學(xué)信號；

一信號采集模塊，用于將所述光學(xué)信號進(jìn)行處理，獲得對準(zhǔn)信號；

一處理模塊，用于將所述對準(zhǔn)信號轉(zhuǎn)換為一待解調(diào)信號，并根據(jù)一參考信號對所述待解調(diào)信號進(jìn)行處理；

其特征在于，所述處理模塊檢測所述待解調(diào)信號與所述參考信號的相位差，根據(jù)所述相

位差對所述參考信號進(jìn)行延遲并生成一正弦參考信號，利用所述正弦參考信號對所述待解調(diào)信號進(jìn)行解調(diào)。

6.如權(quán)利要求5所述的對準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述處理模塊包括：一對準(zhǔn)信號轉(zhuǎn)換模塊，

用于將所述對準(zhǔn)信號轉(zhuǎn)換為一待解調(diào)信號；一相位差檢驗(yàn)?zāi)K，用于采集一參考信號，并檢測所述待解調(diào)信號與所述參考信號的相位差；一參考信號再生模塊，根據(jù)所述相位差對所述參考信號進(jìn)行延遲并生成一正弦參考信號；一解調(diào)模塊，用于根據(jù)所述正弦參考信號對所述待解調(diào)信號進(jìn)行解調(diào)。

7.如權(quán)利要求6所述的對準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述對準(zhǔn)信號轉(zhuǎn)換模塊包括：一光電傳感器，

用于將所述對照信號轉(zhuǎn)換為調(diào)制電流信號；一前置放大器，用于將所述調(diào)制電流信號轉(zhuǎn)換為調(diào)制電壓信號；一可變增益放大器，用于將所述調(diào)制電壓信號調(diào)整至設(shè)定幅值；一帶通濾波器，用于濾除所述調(diào)制電壓信號中的直流成分和其它干擾成分。

8.如權(quán)利要求6所述的對準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述相位差檢驗(yàn)?zāi)K包括一參考信號采樣器

和一相位差檢測器。

9.如權(quán)利要求6所述的對準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述參考信號再生模塊包括一延時(shí)控制器以及一正弦信號生成器。