[發(fā)明專利]真空吸盤式對位系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210154719.1
• 申請日: 2012-05-17
• 公開（公告）號: CN102683505A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郭業(yè)祥;楊順先;鄧小明;劉惠森
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞宏威數(shù)碼機械有限公司
• 主分類號: H01L31/20
• 分類號: H01L31/20;H01L21/68
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種對位系統(tǒng)，尤其涉及一種對非接觸的兩工件進(jìn)行對位的真空吸盤式對位系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著人們對能源的需求量日益增大，太陽能電池作為新興的環(huán)保資源，其應(yīng)用越來越廣泛，相應(yīng)地，太陽能電池制造產(chǎn)業(yè)也引起廣闊的應(yīng)用前景而不斷發(fā)展壯大。太陽電池可以使用玻璃、塑料、陶瓷、石墨，金屬片等不同材料當(dāng)基板來制造，形成可產(chǎn)生電壓的薄膜厚度僅需數(shù)微米，目前，太陽能電池分為晶體硅太陽能電池和非晶硅太陽能電池。

基于晶體硅（單晶硅和多晶硅）的太陽能電池由于發(fā)展歷史較早且技術(shù)比較成熟，在裝機容量一直占據(jù)領(lǐng)先地位。盡管技術(shù)進(jìn)步和市場擴大使其成本不斷下降，但由于材料和工藝的限制，晶體硅太陽能電池進(jìn)一步降低成本的空間相當(dāng)有限，因此第一代太陽能電池很難承擔(dān)太陽能光伏發(fā)電大比例進(jìn)入人類能源結(jié)構(gòu)并成為基礎(chǔ)能源的組成部分的歷史使命，而非晶硅太陽能電池益發(fā)得到世界各國的重視，技術(shù)日臻成熟，光電轉(zhuǎn)換效率和穩(wěn)定性不斷提高，集成型非晶硅太陽能電池的激光切割的使用有效面積達(dá)90%以上，目前大面積大量生產(chǎn)的硅薄膜太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率為5%-8%。

非晶硅太陽能電池一般采用等離子增強型化學(xué)氣相沉積（PECVD，PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition）方法使高純硅烷等氣體分解沉積而成的。此種制作工藝，可以在生產(chǎn)中連續(xù)在多個真空沉積室完成，以實現(xiàn)大批量生產(chǎn)。由于沉積分解溫度低，且可在玻璃、不銹鋼板、陶瓷板、柔性塑料片上沉積薄膜，易于大面積化生產(chǎn)，成本較低。以在玻璃基板上制備的非晶硅基太陽能電池為例，其首先在玻璃(glass)襯底上沉積透明導(dǎo)電膜(TCO)，然后依次用等離子體反應(yīng)沉積p型、i型、n型三層a-Si，接著再蒸鍍金屬電極鋁(Al)，非晶硅(a-Si)太陽電池是光從玻璃面入射，電池電流從透明導(dǎo)電膜和鋁引出，其結(jié)構(gòu)可表示為glass/TCO/pin/Al。

在非晶硅太陽能電池板制備過程中，常需要先對其玻璃基板進(jìn)行精確對位，之后才能進(jìn)行相應(yīng)的操作，傳統(tǒng)的做法是利用機械手將玻璃基板及其他物件進(jìn)行裝夾，再利用機械手進(jìn)行對位，或?qū)⒉ＡЩ逯苯淤N合于需對位的物件上使兩者接觸以進(jìn)行對位，上述方式中，對玻璃基板進(jìn)行接觸式對位及進(jìn)行裝夾，可能會對玻璃基板造成污染或損傷，從而影響非晶硅太陽能電池板的生產(chǎn)精度，另外，當(dāng)需要對應(yīng)的玻璃基板與其他物件的長寬高都不相同時，采用上述方法進(jìn)行對位的精度不夠高。

因此，有必要提供一種可實現(xiàn)對非接觸的兩工件進(jìn)行精確對位的裝置來解決現(xiàn)有技術(shù)的不足。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種可實現(xiàn)對非接觸的兩工件進(jìn)行精確對位的真空吸盤式對位系統(tǒng)。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為：提供一種真空吸盤式對位系統(tǒng)，適用于對非接觸的兩工件進(jìn)行對位，其包括對位裝置、固定平臺裝置、旋轉(zhuǎn)平臺裝置、對位調(diào)節(jié)裝置及底座，所述對位調(diào)節(jié)裝置連接于所述底座上，所述旋轉(zhuǎn)平臺裝置連接于所述對位調(diào)節(jié)裝置的上方，所述固定平臺裝置設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)平臺裝置的一側(cè)，并與所述旋轉(zhuǎn)平臺裝置相對應(yīng)，所述對位裝置設(shè)置于所述固定平臺裝置的上方，且所述固定平臺裝置、旋轉(zhuǎn)平臺裝置上均開設(shè)有氣孔并與抽真空系統(tǒng)連接，其中，所述對位調(diào)節(jié)裝置包括X軸調(diào)節(jié)機構(gòu)、Y軸調(diào)節(jié)機構(gòu)及Z軸調(diào)節(jié)機構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)平臺裝置滑動地連接于所述X軸調(diào)節(jié)機構(gòu)的上端，并可沿X軸方向水平滑動，所述X軸調(diào)節(jié)機構(gòu)的下端滑動地連接于所述Y軸調(diào)節(jié)機構(gòu)的上端，并可沿Y軸方向水平滑動，所述Y軸調(diào)節(jié)機構(gòu)的下端固定于所述Z軸調(diào)節(jié)機構(gòu)上，且所述Z軸調(diào)節(jié)機構(gòu)活動地連接于所述底座上，并可相對所述底座沿Z軸方向運動。

較佳地，所述旋轉(zhuǎn)平臺裝置包括旋轉(zhuǎn)固定座、旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機構(gòu)、活動平臺及第一真空接頭，所述活動平臺上開設(shè)有氣孔，所述第一真空接頭安裝于所述活動平臺的側(cè)部，并與所述活動平臺上開設(shè)的氣孔相連通，所述活動平臺旋轉(zhuǎn)地連接于所述旋轉(zhuǎn)固定座上，所述旋轉(zhuǎn)固定座滑動地連接于所述X軸調(diào)節(jié)機構(gòu)的上端，所述旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機構(gòu)連接于所述旋轉(zhuǎn)固定座的側(cè)部，并與所述活動平臺連接，通過抽真空系統(tǒng)將工件吸附于活動平臺上，實現(xiàn)工件的固定，避免裝夾等給工件帶來的損傷。