[發(fā)明專利]用于切削硬脆材料的加工組成物及切削組成物

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210154713.4
• 申請日: 2012-05-17
• 公開（公告）號: CN102787005A
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王興嘉;佘怡璇;盧厚德;湯慧怡
• 申請（專利權(quán)）人: 達(dá)興材料股份有限公司
• 主分類號: C10M169/04
• 分類號: C10M169/04;C10M173/02;B28D1/06;B28D5/04;C10N40/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 秦劍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于切削硬脆材料的加工組成物及切削組成物，特別是涉及一種包含六方氮化硼的加工組成物及切削組成物。

背景技術(shù)

線鋸切割技術(shù)為目前較為廣泛被應(yīng)用于硅晶棒切割的方法，主要可分為游離磨粒方式及固定磨粒方式。該固定磨粒方式是將研磨粒子(如鉆石磨粒或碳化硅磨粒)固定于鋼絲上形成切割工具，再搭配加工組成物進(jìn)行硅晶棒的切割處理，而該游離磨粒方式則是以線鋸為切割工具，再搭配含有研磨粒子及上述加工組成物的切削組成物進(jìn)行硅晶棒的切割處理。不論是采用游離磨粒方式或固定磨粒方式，皆會造成硅晶片表面損傷、附著沉積物且表面粗糙等不良的問題，繼而影響后續(xù)使用的效能、使用期限與可靠度等。因此，經(jīng)切割后的硅晶片品質(zhì)的改善除有賴切割裝置提升外，加工組成物或切削組成物的性能更是影響切削品質(zhì)的重點。

目前加工組成物或切削組成物的性能要求多是朝向減少硅晶片表面損傷、降低表面粗糙度以及提高附著沉淀物的移除率等方向研究，來提高生產(chǎn)效益及切削品質(zhì)。然而，除了上述需等待解決的問題之外，本案發(fā)明人于線鋸切割過程中發(fā)現(xiàn)硅晶棒經(jīng)切割后，若彼此靠攏排列的硅晶片擱置太久而干燥后，所述硅晶片彼此間不易剝離，且剝離后表面容易產(chǎn)生破壞、損傷、裂痕等表面品質(zhì)不良的問題，甚至在剝離時易發(fā)生破裂情況，導(dǎo)致產(chǎn)能及良率降低。對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，使用上極為不便，且若后段制程處于產(chǎn)能滿載時，更不利于前段制程的生產(chǎn)；此時，本領(lǐng)域技術(shù)人員需購置數(shù)個含有加工組成物或切削組成物的儲存槽，將該彼此靠攏排列的硅晶片浸泡于該儲存槽中，以防止所述硅晶片干燥后導(dǎo)致不易剝離的問題。此做法不但增加本領(lǐng)域技術(shù)人員的成本，更需多一道處理步驟，反而降低了本領(lǐng)域技術(shù)人員的使用效益。

再者，本案發(fā)明人因應(yīng)目前薄型化的發(fā)展與綠能需求大幅上升，對硅晶片的厚度要求會越來越薄，而會有易脆的特性，若所述硅晶片彼此間不易剝離的問題無法解決，則將造成產(chǎn)能及良率的損失，使得制作成本提高。所以本案發(fā)明人有鑒于此問題，發(fā)展出一種具有使硅晶片彼此易剝離且不易沾粘的效果的加工組成物或切削組成物，以符合業(yè)界的需求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的第一目的是在提供一種用于切削硬脆材料的加工組成物，適用于線鋸切割技術(shù)中，能使切削硬脆材料后所形成的硬脆片彼此間易剝離。

于是，本發(fā)明用于切削硬脆材料的加工組成物包含六方氮化硼、溶劑組分及表面活性劑，其中，以該溶劑組分的總量為100重量份計，該六方氮化硼的含量范圍為0.01重量份～10重量份，但不等于0.01重量份。

本發(fā)明的第二目的是在提供一種用于切削硬脆材料的切削組成物，適用于線鋸切割技術(shù)中，能使切削硬脆材料后所形成的硬脆片彼此間易剝離。

于是，本發(fā)明用于切削硬脆材料的切削組成物包含如上所述的加工組成物及多數(shù)個研磨粒子。

本發(fā)明的第三目的是在提供一種高良率且可降低硬脆材料切割制程成本的切削硬脆材料的方法。

本發(fā)明切削硬脆材料的方法是使硬脆材料與如上所述的加工組成物接觸，并通過切削裝置將該硬脆材料切削成多數(shù)具有切削面的硬脆片。該加工組成物會使得所述硬脆片彼此易剝離且不易沾粘，及耐高溫。

本發(fā)明的第四目的是在提供一種高良率且可降低硬脆材料切割制程成本的切削硬脆材料的方法。

本發(fā)明切削硬脆材料的方法是使硬脆材料與如上所述的切削組成物接觸，并通過切削裝置將該硬脆材料切削成多數(shù)具有切削面的硬脆片。該切削組成物會使得所述硬脆片彼此易剝離且不易沾粘，及耐高溫。

本發(fā)明的有益效果在于：透過六方氮化硼、溶劑組分及表面活性劑的使用，不但具有耐高溫、優(yōu)良潤滑性、拋光效果、增加切削效益等，且切削成多數(shù)具有切削面的硬脆片后，該加工組成物會使得所述硬脆片彼此易剝離且不易沾粘；同時使得所述硬脆片不會因彼此剝離時產(chǎn)生的摩擦，造成所述硬脆片表面的損壞；或者，使得所述硬脆片不會因切削時產(chǎn)生的吸附力，造成所述硬脆片剝離時易破裂，而有效地提高良率。

具體實施方式

本發(fā)明用于切削硬脆材料的加工組成物包含六方氮化硼、溶劑組分及表面活性劑，其中，以該溶劑組分的總量為100重量份計，該六方氮化硼的含量范圍為0.01重量份～10重量份，但不等于0.01重量份。

當(dāng)該六方氮化硼的含量高于10重量份時，將致使該六方氮化硼的分散不佳而易沉淀；當(dāng)該六方氮化硼的含量不大于0.01重量份時，則會造成該切削成多數(shù)具有切削面的硬脆片彼此間不易剝離。優(yōu)選地，以該溶劑組分的總量為100重量份計，該六方氮化硼的含量范圍為0.02重量份～0.102重量份。