[發明專利]一種表面等離子體共振傳感器芯片的制作方法無效
| 申請號： | 201210154243.1 | 申請日： | 2012-05-17 |
| 公開（公告）號： | CN102654459A | 公開（公告）日： | 2012-09-05 |
| 發明（設計）人： | 潘革波;李巖;肖燕 | 申請（專利權）人： | 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所 |
| 主分類號： | G01N21/55 | 分類號： | G01N21/55 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215123 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 表面 等離子體 共振 傳感器 芯片 制作方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種表面等離子體共振傳感器芯片的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：
Ⅰ、制備帶有圖案的凸膜及金屬墨水；
Ⅱ、使用納米壓印法將所述凸膜的圖案壓印到柔性襯底（1）上，使所述柔性襯底（1）上形成與所述圖案對應的凹槽（2）；
Ⅲ、將所述金屬墨水印刷到所述凹槽（2）內，退火后形成金屬膜（3）。
2.根據權利要求1所述表面等離子體共振傳感器芯片的制作方法，其特征在于，所述金屬墨水為固含量在10～15%的金屬懸浮液。
3.根據權利要求2所述表面等離子體共振傳感器芯片的制作方法，其特征在于，所述金屬膜（3）是金屬墨水在110~115℃條件下進行加熱烘干，固化后形成的。
4.根據權利要求1或2所述表面等離子體共振傳感器芯片的制作方，其特征在于，所述納米壓印法是平面壓印法或卷對卷輥筒壓印。
5.根據權利要求1或2所述表面等離子體共振傳感器芯片的制作方法，其特征在于，所述印刷方法是噴墨印刷、氣溶膠噴印或者凹版印刷中的一種。
6.根據權利要求1或2所述表面等離子體共振傳感器芯片的制作方法，其特征在于，所述柔性襯底（1）為聚酰亞胺、聚對苯二甲酸乙二醇酯或聚對萘二甲酸乙二醇酯中一種或多種。
7.根據權利要求1或2所述表面等離子體共振傳感器芯片的制作方法，其特征在于，所述金屬墨水包含金，銀，銅或者鋁中至少一種。
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