[發(fā)明專(zhuān)利]激光加工方法以及激光加工裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210153655.3
• 申請(qǐng)日: 2012-05-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102785028A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-11-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 森數(shù)洋司;能丸圭司;西野曜子
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類(lèi)號(hào): B23K26/36
• 分類(lèi)號(hào): B23K26/36;B23K26/06;B23K26/42;B23K26/08
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種激光加工方法，對(duì)由透明部件構(gòu)成的被加工物照射脈沖激光光線來(lái)實(shí)施激光加工，該激光加工方法的特征在于，包含如下工序：

第1激光加工工序，對(duì)被加工物的加工區(qū)域照射第1脈沖激光光線來(lái)破壞加工區(qū)域；以及

第2激光加工工序，緊接在該第1脈沖激光光線之后，對(duì)因該第1脈沖激光光線的照射而被破壞的加工區(qū)域照射第2脈沖激光光線來(lái)形成凹槽，

通過(guò)反復(fù)實(shí)施該第1激光加工工序和該第2激光加工工序來(lái)連續(xù)地實(shí)施凹槽加工。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工方法，其中，

將該第1脈沖激光光線的輸出設(shè)定為比該第2脈沖激光光線的輸出大的值。

3.一種激光加工裝置，該激光加工裝置對(duì)由透明部件構(gòu)成的被加工物照射脈沖激光光線來(lái)實(shí)施激光加工，其特征在于，

該激光加工裝置具備：

被加工物保持單元，其保持被加工物；

脈沖激光光線照射單元，其對(duì)保持于該被加工物保持單元的被加工物照射脈沖激光光線；以及

移動(dòng)單元，其使該被加工物保持單元與該脈沖激光光線照射單元進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，

該脈沖激光光線照射單元具備：

脈沖激光振蕩器；

光分支單元，其將由該脈沖激光振蕩器振蕩出的脈沖激光光線分支為經(jīng)過(guò)第1路徑的第1脈沖激光光線和經(jīng)過(guò)第2路徑的第2脈沖激光光線；

延遲單元，其配置在該第2路徑上，使該第2脈沖激光光線延遲；

光合成單元，其將該第1脈沖激光光線和該第2脈沖激光光線引導(dǎo)至第3路徑；以及

聚光器，其配置在該第3路徑上，對(duì)該第1脈沖激光光線和該第2脈沖激光光線進(jìn)行聚光而照射到保持于該被加工物保持單元的被加工物。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光加工裝置，其中，

在該脈沖激光光線振蕩器與該光分支單元之間配置有1/2波長(zhǎng)板。