[發(fā)明專利]激光加工方法以及激光加工裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210153655.3
• 申請日: 2012-05-17
• 公開（公告）號: CN102785028A
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 森數(shù)洋司;能丸圭司;西野曜子
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/06;B23K26/42;B23K26/08
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種激光加工方法，對由透明部件構(gòu)成的被加工物照射脈沖激光光線來實施激光加工，該激光加工方法的特征在于，包含如下工序：

第1激光加工工序，對被加工物的加工區(qū)域照射第1脈沖激光光線來破壞加工區(qū)域；以及

第2激光加工工序，緊接在該第1脈沖激光光線之后，對因該第1脈沖激光光線的照射而被破壞的加工區(qū)域照射第2脈沖激光光線來形成凹槽，

通過反復(fù)實施該第1激光加工工序和該第2激光加工工序來連續(xù)地實施凹槽加工。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工方法，其中，

將該第1脈沖激光光線的輸出設(shè)定為比該第2脈沖激光光線的輸出大的值。

3.一種激光加工裝置，該激光加工裝置對由透明部件構(gòu)成的被加工物照射脈沖激光光線來實施激光加工，其特征在于，

該激光加工裝置具備：

被加工物保持單元，其保持被加工物；

脈沖激光光線照射單元，其對保持于該被加工物保持單元的被加工物照射脈沖激光光線；以及

移動單元，其使該被加工物保持單元與該脈沖激光光線照射單元進行相對移動，

該脈沖激光光線照射單元具備：

脈沖激光振蕩器；

光分支單元，其將由該脈沖激光振蕩器振蕩出的脈沖激光光線分支為經(jīng)過第1路徑的第1脈沖激光光線和經(jīng)過第2路徑的第2脈沖激光光線；

延遲單元，其配置在該第2路徑上，使該第2脈沖激光光線延遲；

光合成單元，其將該第1脈沖激光光線和該第2脈沖激光光線引導(dǎo)至第3路徑；以及

聚光器，其配置在該第3路徑上，對該第1脈沖激光光線和該第2脈沖激光光線進行聚光而照射到保持于該被加工物保持單元的被加工物。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光加工裝置，其中，

在該脈沖激光光線振蕩器與該光分支單元之間配置有1/2波長板。