[發(fā)明專利]陀螺儀傳感器和電子設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210153320.1
• 申請日: 2012-05-17
• 公開（公告）號: CN102788576A
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金本啟
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C19/5719
• 分類號: G01C19/5719
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;馬建軍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及陀螺儀傳感器和使用該陀螺儀傳感器的電子設(shè)備。

背景技術(shù)

近年來，在汽車導(dǎo)航系統(tǒng)和攝像機的抖動校正等的姿勢控制中，大量使用檢測角速度的陀螺儀傳感器。在這種陀螺儀傳感器中，存在如下的傳感器：在各軸具有能夠檢測繞著相互垂直的X軸、Y軸、Z軸的角速度的檢測元件。

專利文獻(xiàn)1所公開的陀螺儀傳感器是檢測相對于相互垂直的第1～第3檢測軸的角速度的多軸角速度傳感器，具有檢測相對于第1檢測軸的角速度的第1振動型角速度傳感器元件、檢測相對于第2檢測軸的角速度的第2振動型角速度傳感器元件、檢測相對于第3檢測軸的角速度的第3振動型角速度傳感器元件、控制第1～第3振動型角速度傳感器元件的IC以及收納第1～第3振動型角速度傳感器元件和IC的封裝。在該陀螺儀傳感器中，第1振動型角速度傳感器元件的振動平面與第1檢測軸平行，第2振動型角速度傳感器元件的振動平面與第2檢測軸平行，第3振動型角速度傳感器元件的振動平面與第3檢測軸垂直，實現(xiàn)薄型化。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2010-266321號公報

但是，現(xiàn)有的陀螺儀傳感器檢測繞3個軸的角速度，所以，當(dāng)在芯片內(nèi)排列各軸時，存在如下問題：安裝面積增大，無法實現(xiàn)伴隨器件整體小型化的要求的傳感器元件的進(jìn)一步小型化。

并且，振動按照每個軸的角速度傳感器而獨立，所以，必須按照每個角速度傳感器設(shè)置驅(qū)動電路，單獨需要集成電路（IC），安裝面積增大，難以使傳感器小型化。并且，按照多個角速度傳感器存在振動模式，所以，存在相互干涉的問題。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問題點，本發(fā)明的目的在于，提供實現(xiàn)了小型化的陀螺儀傳感器。

本發(fā)明正是為了解決上述課題中的至少一部分而完成的，可以作為以下應(yīng)用例來實現(xiàn)。

[應(yīng)用例1]一種陀螺儀傳感器，其特征在于，該陀螺儀傳感器具有：第1質(zhì)量部，其具有第1檢測部；第2質(zhì)量部，其具有第2檢測部；第1驅(qū)動部，其使所述第1質(zhì)量部在第1軸的方向上振動；以及力轉(zhuǎn)換部，其由錨部固定，所述第1質(zhì)量部和所述第2質(zhì)量部由所述力轉(zhuǎn)換部連接，所述力轉(zhuǎn)換部以所述錨部為軸進(jìn)行移位，使所述第2質(zhì)量部在平面視圖中與所述第1軸交叉的第2軸的方向上振動。

根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠通過力轉(zhuǎn)換部進(jìn)行位移，使得第1軸的方向的驅(qū)動在第2軸的方向上振動。由此，能夠使多個質(zhì)量部的驅(qū)動部共同化，所以，能夠?qū)崿F(xiàn)傳感器整體的小型化。

[應(yīng)用例2]根據(jù)應(yīng)用例1所述的陀螺儀傳感器，其特征在于，所述力轉(zhuǎn)換部包含：旋轉(zhuǎn)體；錨梁，其連接所述錨部和所述旋轉(zhuǎn)體；第1連接梁，其連接所述旋轉(zhuǎn)體和所述第1質(zhì)量部；以及第2連接梁，其連接所述旋轉(zhuǎn)體和所述第2質(zhì)量部，所述旋轉(zhuǎn)體的剛性比所述錨梁的剛性大。

根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，通過力轉(zhuǎn)換部的旋轉(zhuǎn)運動，能夠容易地將驅(qū)動部的第1軸的方向的振動轉(zhuǎn)換為第2軸的方向的振動。

[應(yīng)用例3]根據(jù)應(yīng)用例2所述的陀螺儀傳感器，其特征在于，所述錨梁包含：第1錨梁，其從所述錨部起在所述第1軸的方向上延伸；以及第2錨梁，其從所述錨部起在所述第2軸的方向上延伸，所述旋轉(zhuǎn)體是連接所述第1錨梁的端部和所述第2錨梁的端部的梁。

根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，使用多個梁構(gòu)成力轉(zhuǎn)換部，通過力轉(zhuǎn)換部的旋轉(zhuǎn)運動，能夠容易地將驅(qū)動部的第1軸的方向的振動轉(zhuǎn)換為第2軸的方向的振動。

[應(yīng)用例4]根據(jù)應(yīng)用例3所述的陀螺儀傳感器，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)體被設(shè)置成圓弧狀。

根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，通過將力轉(zhuǎn)換部的旋轉(zhuǎn)體設(shè)置成圓弧狀，能夠使力轉(zhuǎn)換部順暢地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運動。

[應(yīng)用例5]根據(jù)應(yīng)用例2所述的陀螺儀傳感器，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)體具有空洞部，所述錨部被配置在所述空洞部的內(nèi)部。

根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，通過力轉(zhuǎn)換部的旋轉(zhuǎn)運動，能夠容易地將驅(qū)動部的第1軸的方向的振動轉(zhuǎn)換為第2軸的方向的振動。

[應(yīng)用例6]根據(jù)應(yīng)用例2所述的陀螺儀傳感器，其特征在于，隔著所述旋轉(zhuǎn)體設(shè)置有一組所述錨部。

根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，通過力轉(zhuǎn)換部的旋轉(zhuǎn)運動，能夠容易地將驅(qū)動部的第1軸的方向的振動轉(zhuǎn)換為第2軸的方向的振動。

[應(yīng)用例7]根據(jù)應(yīng)用例5或6所述的陀螺儀傳感器，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)體為矩形狀。

根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，通過使旋轉(zhuǎn)體為矩形狀，能夠增大以錨部為軸的旋轉(zhuǎn)移位，能夠改善振動效率。