[發明專利]20桿二維無耦合微位移工作臺

無效

• 申請號: 201210152258.4
• 申請日: 2012-05-17
• 公開（公告）號: CN102664047A
• 公開（公告）日: 2012-09-12
• 發明（設計）人: 沈健;陳東;張海巖
• 申請（專利權）人: 合肥工業大學
• 主分類號: G12B5/00
• 分類號: G12B5/00
• 代理公司: 合肥金安專利事務所 34114
• 代理人: 金惠貞

1.20桿二維無耦合微位移工作臺，其特征在于：包括基板（1），所述基板（1）中部設有貫通的空腔，所述空腔中部設有工作臺（6），工作臺（6）的周邊分別均布連接著四根內層柔性鉸鏈桿（5）的一端，每根內層柔性鉸鏈桿（5）的另一端連接著驅動支座（3）的內端，且其中兩根內層柔性鉸鏈桿（5）沿X方向對稱分布，另兩根內層柔性鉸鏈桿（5）沿Y方向對稱分布；每個驅動支座（3）的兩側分別連接著兩根并列的外層柔性鉸鏈桿（2）的一端，兩根并列的外層柔性鉸鏈桿（2）組成外層柔性鉸鏈桿組，每組的外層柔性鉸鏈桿（2）的另一端分別連接著基板（1）上空腔的側壁，每個驅動支座（3）兩側的外層柔性鉸鏈桿組在同一直線上，且垂直于驅動支座（3）內端的內層柔性鉸鏈桿（5）；與每個驅動支座（3）外端對應的所述空腔的側壁上分別設有凹槽（7），所述空腔的側壁上共有四個凹槽（7），其中相鄰的兩個凹槽（7）內分別設有電致伸縮器件（4），電致伸縮器件（4）的一端與驅動支座（3）的外端接觸，另一端與凹槽（7）的側壁接觸。

2.根據權利要求1所述的20桿二維無耦合微位移工作臺，其特征在于：所述工作臺（6）為正方形板狀，每一側面中部分別連接著一根內層柔性鉸鏈桿（5）的一端。

3.根據權利要求1所述的20桿二維無耦合微位移工作臺，其特征在于：所述驅動支座（3）為矩形板狀，其內側面與內層柔性鉸鏈桿（5）的另一端連接，兩側面分別連接著外層柔性鉸鏈桿（2）的一端，外側面與所述空腔的凹槽（7）對應。

4.根據權利要求1所述的20桿二維無耦合微位移工作臺，其特征在于：所述電致伸縮器件（4）型號為PAS005或PAS020，行程20μm；或者型號為PAS009、或PAS040，行程40μm。