[發明專利]一種雙探測生化傳感檢測儀的傳感芯片及其制備方法無效
| 申請號： | 201210152194.8 | 申請日： | 2012-05-14 |
| 公開（公告）號： | CN102706835A | 公開（公告）日： | 2012-10-03 |
| 發明（設計）人： | 耿照新 | 申請（專利權）人： | 中央民族大學 |
| 主分類號： | G01N21/55 | 分類號： | G01N21/55;G01N21/65;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京萬象新悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 張肖琪 |
| 地址： | 100081 北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 探測 生化 傳感 檢測 芯片 及其 制備 方法 | ||
1.一種傳感芯片，其特征在于，所述傳感芯片包括K*L陳列的傳感芯片單元，傳感芯片單元包括：襯底（31）以及與其鍵合在一起的上片（32）；形成在上片（32）內構成微流通道的進口、出口（33）及微腔（34）；形成在襯底上并處于微腔內的m*n陣列的納米顆粒（35）；其中，m、n、K和L為自然數。
2.如權利要求1所述的傳感芯片，其特征在于，所述傳感芯片單元的尺寸范圍在幾十微米到幾微米之間。
3.如權利要求1所述的傳感芯片，其特征在于，所述納米顆粒的尺寸范圍在幾十納米到幾百納米之間，納米顆粒之間的間距范圍在幾十納米到幾百納米之間。
4.如權利要求1所述的傳感芯片，其特征在于，所述納米顆粒為金或銀等貴重金屬顆粒，形狀為球形、橢球形、納米狹縫以及納米孔中的一種。
5.如權利要求1所述的傳感芯片，其特征在于，所述襯底的材料為K9玻璃、石英玻璃、聚二甲硅氧烷PDMS、聚甲基丙烯酸甲酯PMMA、聚苯乙烯PS等透明材料中的一種。
6.如權利要求1所述的傳感芯片，其特征在于，所述上片的材料為聚二甲硅氧烷PDMS或聚甲基丙烯酸甲酯PMMA。
7.如權利要求1所述的傳感芯片，其特征在于，所述微腔的體積范圍在幾微升到幾十微升之間，其形狀可以是球形或立方形。
8.如權利要求7所述的傳感芯片，其特征在于，在所述微流通道的寬度范圍在10微米到200微米之間，深度范圍在50微米到200微米之間。
9.一種傳感芯片單元的制備方法，其特征在于，所述傳感芯片單元的制備方法包括以下步驟：
1）提供透明的襯底；
2）在襯底上形成m*n陣列的納米顆粒，m和n為自然數；
3）用光刻方法加工上片，在其內形成由進口、出口及微腔構成的微流通道；
4）將上片和襯底鍵合在一起，形成傳感器芯片單元。
10.如權利要求9所述的制備方法，其特征在于，在步驟2）中，通過電子束光刻、納米壓印、化學合成、電子束蒸發、干涉光刻、納米掩膜等方法形成納米顆粒。
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