[發明專利]一種適用于大尺寸及超薄玻璃的鍍膜工藝及設備

有效

• 申請號: 201210152183.X
• 申請日: 2012-05-16
• 公開（公告）號: CN103422061A
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發明（設計）人: 姜翠寧
• 申請（專利權）人: 深圳市正星光電技術有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C03C17/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種適用于大尺寸及超薄玻璃的鍍膜工藝，其特征在于：該鍍膜工藝采取設備雙面設置靶位，但是雙面可設置不同類型不同數量的靶位，通過選擇合適的傾斜角度，鍍膜工藝生產的設備兩面均可做傾斜設計，其傾斜方式是以垂直于水平面的腔體的中心軸線為中心，設備的關鍵部位分別向兩側傾斜相同的角度，其關鍵部件為陰極靶位和承載玻璃的基片架，陰極靶位與基片架上裝載玻璃的框架傾斜同樣的角度，這樣保證玻璃基板在鍍膜時與靶面平行，靶基距一致，這種設計適合大尺寸超薄玻璃。

2.根據權利要求1所述的適用于大尺寸及超薄玻璃的鍍膜工藝，其特征在于：所述基片架采取可移動的方式，玻璃基板采取移動彈簧夾具的方式，利用卡槽式固定法將夾具與基片架橫梁固定在一起，玻璃尺寸變化，移動夾具位置使其能夠滿足不同尺寸玻璃的夾持。

3.根據權利要求1所述的適用于大尺寸及超薄玻璃的鍍膜工藝，其特征在于：所述大尺寸超薄玻璃，其裝夾結構采用整體框架結構，對于大尺寸超薄玻璃，則玻璃采取鑲嵌的方式裝載在基片架上，其橫豎梁按照玻璃尺寸固定成一個框架結構，在更換尺寸時可將整個框架直接固定在現有基片架的外框架結構上，不需再調整夾具位置，不同尺寸的玻璃橫梁可以共用，但是有專用的豎梁，框架結構可在生產前提前裝配好，其上的夾具位置同樣根據產品尺寸移動，不用另外更換夾具。

4.根據權利要求1所述的適用于大尺寸及超薄玻璃的鍍膜工藝，其特征在于：所述基片架的有效區域設計綜合了現有常用尺寸產品以及包含4.5代面板的大尺寸基板，因此有效區域設計合理，利用率高。

5.根據權利要求1所述的適用于大尺寸及超薄玻璃的鍍膜工藝，其特征在于：該鍍膜工藝生產的設備的兩側由于配置靶位的不同，可以同時完成兩種完全不同類型的產品而互不干擾，比如設備一面生產消影產品、高透產品或者多層膜產品，而設備的另外一面完全可以生產常規類產品。

6.根據權利要求5所述的適用于大尺寸及超薄玻璃的鍍膜工藝，其特征在于：所述消影產品的生產，在設備一面完成消影面的同時，直接用周轉小車完成周轉，設備的另一面可同時完成產品第二面的鍍膜工作，減少了周轉環節包裝材料的浪費，也使在鍍第二面膜層時，能夠及時發現二次鍍膜對第一面膜層的影響，以便盡快調整工藝。

7.一種適用于大尺寸及超薄玻璃的鍍膜設備，其特征在于：該鍍膜設備由箱體(1)、基片架(2)、加熱器(3)、導桿(4)、傳動輪(5)、靶位(6)構成，所述導桿(4)卡進傳動輪(5)的卡槽內，與靶位(6)連接在一起，靶位(6)采用雙面設計，基片架(2)與靶位(6)傾斜適當角度，并以垂直于水平面的箱體(1)的中心軸線為中心，兩面傾斜，保持玻璃基板在鍍膜時與靶面平行，靶基距一致，基片架(2)所采用的夾具采取可移動的方式設計，在裝夾玻璃的過程中采用整體框架結構，采取鑲嵌的方式裝載在基片架(2)上，加熱器(3)與基片架(2)傾斜方式一致，固定在箱體(1)上。