[發明專利]一種薄膜型LED制備的方法

無效

• 申請號: 201210152106.4
• 申請日: 2012-05-17
• 公開（公告）號: CN102651432A
• 公開（公告）日: 2012-08-29
• 發明（設計）人: 李喜峰;李倩;王萬晶;張建華
• 申請（專利權）人: 上海大學
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00;H01L33/14
• 代理公司: 上海上大專利事務所(普通合伙) 31205
• 代理人: 何文欣

1.一種薄膜型LED制備的方法，其特征在于制備工藝步驟如下：

a.藍寶石外延片的生長：

在藍寶石襯底（1）上采用金屬有機相外延方法依次沉積低溫氮化鎵GaN層（2），本征GaN層（3），n型GaN層（4），量子阱MQW層（6）和P型GaN層（2）；

b.藍寶石外延片的清洗：

將藍寶石外延片依次在異丙醇及丙酮中超聲清洗10±1?min；去離子水沖洗；在混合酸溶液--硫酸:雙氧水:去離子水的比列為5:5:1中，常溫浸泡15±1?min；再在稀鹽酸溶液--體積分數為20%中，常溫浸泡5±0.5?min；最后用去離子水超聲清洗10±1min；氮氣吹干；

c.采用溶膠凝膠提拉法，制備LED器件的電流擴散層-鎵摻雜的氧化鋅GZO薄膜（8），具體操作步驟如下：

（1）首先在一個200±20ml的玻璃燒杯中，將0.04±0.002mol的2水醋酸鋅以及0.0006±0.0001mol的5.5水合硝酸鎵放入燒杯，將150±10ml的無水甲醇倒入燒杯中，再逐滴加入0.045±0.002mol的單乙醇胺；磁力攪拌至全部溶解后，水浴60±5℃并在磁力攪拌的情況下保溫1±0.2個小時；將溫度提高到70~100℃進行溶劑蒸發直到剩余溶液的體積為原來溶液體積的20~80%；室溫時效6±0.2小時，冰箱冷藏42±0.5小時，形成溶膠；

（2）?電流擴散層鎵摻雜氧化鋅薄膜（8）的制備：

在室溫下，在藍寶石外延片上行拉膜：浸潤在步驟（1）中制備的溶膠1±0.1min后，以65±5mm/min的速度進行提拉；每提拉完一層膜之后，將薄膜在紅外燈下烘烤30±0.5min，再進行500±50℃快速退火15±0.5min，完成一次薄膜的提拉烘干過程；再重復以上步驟6次，以達到200±20nm厚度的鎵摻雜的氧化鋅薄膜（8）,最后將薄膜時效兩天，600±50℃真空退火1±0.1h；

（3）采用Ar離子干法刻蝕電流擴散層，最終即得到完整的LED器件。