[發明專利]膠接后硅棒圓心校準裝置無效
| 申請號： | 201210151390.3 | 申請日： | 2012-05-16 |
| 公開（公告）號： | CN102644120A | 公開（公告）日： | 2012-08-22 |
| 發明（設計）人： | 徐良 | 申請（專利權）人： | 常州億晶光電科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/06 | 分類號： | C30B33/06 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 213213 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 膠接后硅棒 圓心 校準 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種膠接后硅棒圓心校準裝置，用于硅棒（5）與晶托（6）之間的圓心校準，其特征在于：具有底座（1）、用于旋轉的圓盤（2）、分度表（4）和用于固定分度表（4）的支架（3），所述的圓盤（2）設置在底座（1）上，并且圓盤（2）旋轉時，與底座（1）的位置關系固定，圓盤（2）的旋轉中心為圓盤（2）的圓心；所述的支架（3）與底座（1）固定連接，所述的支架（3）上設有用于調節分度表（4）高度的調節機構，所述的分度表（4）與調節機構連接，所述的分度表（4）的測針（4-1）與底座（1）平行。
2.如權利要求1所述的膠接后硅棒圓心校準裝置，其特征在于：所述的調節機構與支架（3）之間為固定位置可調節連接。
3.如權利要求1所述的膠接后硅棒圓心校準裝置，其特征在于：所述的圓盤（2）上具有用于將晶托（6）的徑向和周向固定的固定機構。
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