[發明專利]錳摻雜砷酸鹽發光薄膜、制備方法及其應用有效
| 申請號： | 201210151237.0 | 申請日： | 2012-05-16 |
| 公開（公告）號： | CN103421499A | 公開（公告）日： | 2013-12-04 |
| 發明（設計）人： | 周明杰;王平;陳吉星;黃輝 | 申請（專利權）人： | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術有限公司 |
| 主分類號： | C09K11/74 | 分類號： | C09K11/74;H05B33/14 |
| 代理公司： | 廣州三環專利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝傳鑫;熊永強 |
| 地址： | 518000 廣東省深*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 摻雜 砷酸鹽 發光 薄膜 制備 方法 及其 應用 | ||
1.一種錳摻雜砷酸鹽發光薄膜，其特征在于，其化學式為aMeO·As2O5:xMn2+，其中aMeO·As2O5是基質，錳元素是激活元素，0.01≤x≤0.08，a為3～8，Me為Mg、Ca、Sr或Ba。
2.根據權利要求1所述的錳摻雜砷酸鹽發光薄膜，其特征在于，所述錳摻雜砷酸鹽發光薄膜的厚度為80nm～300nm。
3.一種錳摻雜砷酸鹽發光薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
將襯底裝入化學氣相沉積設備的反應室中，并將反應室的真空度設置為1.0×10-2Pa～1.0×10-3Pa；
調節襯底的溫度為250℃～650℃，轉速為50轉/分鐘～1000轉/分鐘，采用氬氣氣流的載體，根據aMeO·As2O5:xMn2+各元素的化學計量比將(C5H5)2Me、(CH3CH2)5As和甲基二茂錳通入反應室內；及
通入氧氣，進行化學氣相沉積得到化學式為aMeO·As2O5:xMn2+的錳摻雜砷酸鹽發光薄膜，其中aMeO·As2O5是基質，錳元素是激活元素，0.01≤x≤0.08，a為3～8，Me為Mg、Ca、Sr或Ba。
4.根據權利要求3所述的錳摻雜砷酸鹽發光薄膜的制備方法，其特征在于，所述(C5H5)2Me、(CH3CH2)5As和甲基二茂錳摩爾比為(3～8)∶1∶(0.01～0.08)。
5.根據權利要求3所述的錳摻雜砷酸鹽發光薄膜的制備方法，其特征在于，所述氬氣氣流量為5～15sccm，所述氧氣氣流量為10～200sccm。
6.根據權利要求3所述的錳摻雜砷酸鹽發光薄膜的制備方法，其特征在于，將所述襯底裝入所述反應室后將所述襯底在600℃～800℃下熱處理10分鐘～30分鐘。
7.一種薄膜電致發光器件，該薄膜電致發光器件包括依次層疊的襯底、陽極層、發光層以及陰極層，其特征在于，所述發光層的材料為錳摻雜砷酸鹽發光薄膜，該錳摻雜砷酸鹽發光薄膜的化學式為aMeO·As2O5:xMn2+，其中aMeO·As2O5是基質，錳元素是激活元素，0.01≤x≤0.08，a為3～8，Me為Mg、Ca、Sr或Ba。
8.根據權利要求7所述的薄膜電致發光器件的制備方法，其特征在于，所述發光層的厚度為80nm～300nm。
9.一種薄膜電致發光器件的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
提供具有陽極的襯底；
在所述陽極上形成發光層，所述發光層的薄膜為錳摻雜砷酸鹽發光薄膜，該錳摻雜砷酸鹽發光薄膜的化學式為aMeO·As2O5:xMn2+，其中aMeO·As2O5是基質，錳元素是激活元素，0.01≤x≤0.08，a為3～8，Me為Mg、Ca、Sr或Ba；
在所述發光層上形成陰極。
10.根據權利要求9所述的薄膜電致發光器件的制備方法，其特征在于，所述發光層的制備包括以下步驟：
將所述襯底裝入化學氣相沉積設備的反應室，并將反應室的真空度設置為1.0×10-2Pa～1.0×10-3Pa；
調節襯底的溫度為250℃～650℃，轉速為50轉/分鐘～1000轉/分鐘，采用氬氣氣流作為載體，根據aMeO·As2O5:xMn2+各元素的化學計量比將(C5H5)2Me、(CH3CH2)5As和甲基二茂錳通入反應室內，其中，氬氣氣流量為5～15sccm，然后通入氧氣，氧氣氣流量為10～200sccm；沉積薄膜在所述陽極上形成發光層。
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