[發明專利]內外腔混合非線性頻率變換紫外激光器

無效

• 申請號: 201210148336.3
• 申請日: 2012-05-15
• 公開（公告）號: CN103427325A
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發明（設計）人: 李斌;孫冰
• 申請（專利權）人: 天津梅曼激光技術有限公司
• 主分類號: H01S3/109
• 分類號: H01S3/109
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種內外腔混合非線性頻率變換紫外激光器，包括：泵浦源(1)、傳能光纖(2)、聚焦耦合系統(3)、激光全反射鏡(4)、增益介質晶體(5)、Q開關(6)和激光輸出鏡(9)，其特征在于：還包括：諧波鏡(7)、二倍頻晶體(8)、聚焦鏡(10)和三倍頻晶體(11)；激光全反射鏡(4)和激光輸出鏡(9)構成基頻光諧振腔，泵浦源(1)輸出的泵浦光經過傳能光纖(2)和聚焦耦合系統(3)傳輸至增益介質晶體，在對增益介質晶體的抽運條件下，使激光在由激光全反射鏡和激光輸出鏡構成的基頻光諧振腔中振蕩，并在Q開關(6)的調制作用下產生脈沖的基頻光，二倍頻晶體(8)設置在基頻光諧振腔內，基頻光每次經過二倍頻晶體(8)時都會產生倍頻光，前向倍頻光由激光輸出鏡(9)直接輸出，后向倍頻光經由諧波鏡(7)反射后也由激光輸出鏡(9)輸出，激光輸出鏡同時鍍有對基頻光部分透射和對倍頻光增透的膜系，倍頻光和基頻光經過聚焦鏡(10)后被聚焦到三倍頻晶體(11)中，并產生三倍頻激光。

2.根據權利要求1所述的內外腔混合非線性頻率變換紫外激光器，其特征在于：激光泵浦源的中心波長為808nm、880nm、885nm、888nm、914nm、938nm或946nm之中的任一種。

3.根據權利要求1所述的內外腔混合非線性頻率變換紫外激光器，其特征在于：增益介質晶體為Nd:YAG晶體、Nd:YVO₄晶體、Nd:GGG晶體、Nd:YLF晶體、Nd:GdVO₄晶體、Nd:YAP晶體或Nd:LuvO₄晶體之中的任一種。

4.根據權利要求1所述的內外腔混合非線性頻率變換紫外激光器，其特征在于：二倍頻晶體(8)設置在由激光全反射鏡(4)和激光輸出鏡(9)構成基頻光諧振腔內，而三倍頻晶體(11)設置在基頻光諧振腔之外。

5.根據權利要求1所述的內外腔混合非線性頻率變換紫外激光器，其特征在于：二倍頻晶體是KTP晶體、LBO晶體、BBO晶體、BIBO晶體或CLBO晶體之中的任一種。

6.根據權利要求1所述的內外腔混合非線性頻率變換紫外激光器，其特征在于：三倍頻晶體LBO晶體、BBO晶體、BIBO晶體或CLBO晶體之中的任一種。