[發(fā)明專利]低溫冷漏檢漏的系統(tǒng)及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210147708.0
• 申請日: 2012-05-11
• 公開（公告）號: CN103389187A
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 胡忠軍;李青;邱一男;李強(qiáng)
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所
• 主分類號: G01M3/20
• 分類號: G01M3/20
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 韓國勝

1.一種低溫冷漏檢漏的系統(tǒng)，其特征在于：包括配氣系統(tǒng)、預(yù)冷系統(tǒng)、冷箱、灌注系統(tǒng)、檢漏儀、真空泵以及多個通路閥門；預(yù)冷系統(tǒng)、灌注系統(tǒng)、檢漏儀、真空泵分別與冷箱相連接；其中配氣系統(tǒng)通過預(yù)冷系統(tǒng)與冷箱形成預(yù)冷通路和回氣通路，灌注系統(tǒng)與冷箱連接形成低溫液體通路和高壓氣體通路，真空泵與冷箱連接形成抽真空通路，檢漏儀與冷箱連接形成檢漏通路。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫冷漏檢漏的系統(tǒng)，其特征在于：所述預(yù)冷系統(tǒng)包括低溫液體容器、位于低溫液體容器內(nèi)的換熱器以及與換熱器連接的回?zé)崞鳌?/p>

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的低溫冷漏檢漏的系統(tǒng)，其特征在于：所述預(yù)冷系統(tǒng)的低溫液體容器內(nèi)存儲著液氮或液氫。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的低溫冷漏檢漏的系統(tǒng)，其特征在于：所述換熱器為盤管換熱器。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的低溫冷漏檢漏的系統(tǒng)，其特征在于：所述配氣系統(tǒng)包括氣罐、與氣罐連接的壓縮機(jī)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的低溫冷漏檢漏的系統(tǒng)，其特征在于：所述壓縮機(jī)為無油式壓縮機(jī)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的低溫冷漏檢漏的系統(tǒng)，其特征在于：所述配氣系統(tǒng)的氣罐存儲氮?dú)饣蚝狻?/p>

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的低溫冷漏檢漏的系統(tǒng)，其特征在于：所述預(yù)冷通路包括第一預(yù)冷通路和第二預(yù)冷通路；第一預(yù)冷通路依次包括氣罐、通路閥門中的第一控制閥門、預(yù)冷系統(tǒng)中的換熱器和回?zé)崞鳌⑼烽y門中的低溫氣體入口閥和冷箱；第二預(yù)冷通路依次包括氣罐以及通路閥門中的第二控制閥門。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的低溫冷漏檢漏的系統(tǒng)，其特征在于：第二預(yù)冷通路與第一預(yù)冷通路在回?zé)崞髋c低溫氣體入口閥之間連通。

10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的低溫冷漏檢漏的系統(tǒng)，其特征在于：所述回氣通路依次包括冷箱、通路閥門中的低溫氣體回氣閥、回?zé)崞鳌嚎s機(jī)以及氣罐，并與預(yù)冷通路一起形成循環(huán)通路。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫冷漏檢漏的系統(tǒng)，其特征在于：所述冷箱具有真空絕熱夾層，并包括有指示冷箱內(nèi)液體容積量的液位計。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫冷漏檢漏的系統(tǒng)，其特征在于：所述檢漏儀為氦質(zhì)譜檢漏儀，所述檢漏通路依次包括氦質(zhì)譜檢漏儀、通路閥門中的檢漏儀閥和檢漏工藝閥以及冷箱。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫冷漏檢漏的系統(tǒng)，其特征在于：所述抽真空通路包括第一抽真空通路，該第一抽真空通路依次包括真空泵、通路閥門中的冷箱夾層真空閥以及冷箱。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的低溫冷漏檢漏的系統(tǒng)，其特征在于：所述抽真空通路還包括第二抽真空通路，該第二抽真空通路依次包括所述真空泵、通路閥門中的泵切換閥和檢漏工藝閥以及冷箱。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫冷漏檢漏的系統(tǒng)，其特征在于：所述灌注系統(tǒng)通過低溫液體通路向冷箱灌注液氮或液氫。

16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫冷漏檢漏的系統(tǒng)，其特征在于：所述灌注系統(tǒng)通過高壓氣體通路向冷箱灌注高壓氦氣。

17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫冷漏檢漏的系統(tǒng)，其特征在于：所述通路閥門包括低溫液體泄流閥和與灌注系統(tǒng)相連的灌注閥。

18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫冷漏檢漏的系統(tǒng)，其特征在于：所述低溫冷漏檢漏的系統(tǒng)用于對待測件進(jìn)行冷漏檢漏，該待測件在檢漏過程中設(shè)于冷箱中。

19.一種采用權(quán)利要求1-18中任一項(xiàng)所述的低溫冷漏檢漏的系統(tǒng)進(jìn)行低溫冷漏檢漏的方法，其特征在于：包括如下步驟：

S1、對冷箱中的待測件進(jìn)行預(yù)冷降溫，達(dá)到檢驗(yàn)冷漏的條件；

S2、向冷箱中灌注低溫液體，直到液位計達(dá)到上限；

S3、將待測件抽真空；

S4、用檢漏儀對待測件進(jìn)行檢漏。

20.如權(quán)利要求19所述的低溫冷漏檢漏的方法，其特征在于：在步驟S1中，包括以下步驟：

S11、由氣罐流出的氣體通過預(yù)冷系統(tǒng)進(jìn)行預(yù)冷；

S12、預(yù)冷后的低溫氣體通過低溫氣體入口閥進(jìn)入冷箱，對待測件進(jìn)行逐步降溫，直到達(dá)到檢漏溫度。