[發明專利]壓電驅動器制作方法及壓電驅動器

有效

• 申請號: 201210147357.3
• 申請日: 2012-05-11
• 公開（公告）號: CN102683576A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 董蜀湘;陳建國
• 申請（專利權）人: 北京大學
• 主分類號: H01L41/09
• 分類號: H01L41/09;H01L41/22
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 劉芳

1.一種壓電驅動器制作方法，其特征在于，包括：

在壓電陶瓷片的上下表面分別制作預設圖案的內電極；

通過耐高溫無機聚合硅凝膠材料，將制作內電極后的多個壓電陶瓷片粘結在一起，形成一體化結構的多層陶瓷；

在所述一體化結構的多層陶瓷的相對的兩個側面上分別制作外電極，以將各壓電陶瓷片在電路上形成并聯連接；

對所述一體化結構的多層陶瓷進行極化，得到所述壓電驅動器。

2.根據權利要求1所述的壓電驅動器制作方法，其特征在于，所述耐高溫無機聚合硅凝膠為硅酸鎂、磷酸鋁與無機高分子聚合物混合形成。

3.根據權利要求1所述的壓電驅動器制作方法，其特征在于，所述耐高溫無機聚合硅凝膠為耐500℃以上高溫的無機聚合硅凝膠。

4.根據權利要求3所述的壓電驅動器制作方法，其特征在于，所述壓電陶瓷片為采用居里溫度高于120℃的壓電材料制作得到。

5.根據權利要求4所述的壓電驅動器制作方法，其特征在于，所述壓電陶瓷片的材料為鈧酸鉍-鈦酸鉛固溶體，所述鈧酸鉍-鈦酸鉛固溶體的化學式為(1-x)BiScO₃-xPbTiO₃，其中：0.2≤x<1。

6.根據權利要求1-5任一所述的壓電驅動器制作方法，其特征在于，所述在壓電陶瓷片的上下表面分別制作預設圖案的電極之前還包括：

利用固相反應法制備壓電陶瓷片。

7.根據權利要求1所述的壓電驅動器制作方法，其特征在于，所述壓電陶瓷片上下表面的電極寬度w小于陶瓷片的寬度W，且上下表面的電極相對兩側面反對稱設置；

所述陶瓷片的任一表面上的電極到側面的間隙d=W-w，且所述間隙d大于所述壓電陶瓷片的厚度t。

8.根據權利要求1所述的壓電驅動器制作方法，其特征在于，所述內電極和外電極為銀電極、銅電極、鎳電極、金電極或上述至少兩種金屬混合的混合金屬電極。

9.根據權利要求8所述的壓電驅動器制作方法，其特征在于，所述內電極和外電極通過燒制或濺射而成。

10.一種采用權利要求1-9任一所述的壓電驅動器制作方法制作得到的壓電驅動器。