[發明專利]電火花工藝制備類單晶籽晶方法無效
| 申請號: | 201210146846.7 | 申請日: | 2012-05-11 |
| 公開(公告)號: | CN103386715A | 公開(公告)日: | 2013-11-13 |
| 發明(設計)人: | 李文 | 申請(專利權)人: | 無錫奧特維科技有限公司 |
| 主分類號: | B28D5/04 | 分類號: | B28D5/04 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 214028 江蘇省無錫市新區泰山路2號*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 電火花 工藝 制備 類單晶 籽晶 方法 | ||
【權利要求書】:
1.一種電火花工藝制備類單晶籽晶方法,基于用電火花線切割機床改造后對硅棒進行切割,其特征在于電極絲通過橫向往復運動將硅棒切割成長條形籽晶硅板,通過縱向運動實現籽晶硅板倒角,得到長方形板狀籽晶。
2.根據權利要求1所述的一種電火花工藝制備類單晶籽晶方法,其特征在于所述籽晶厚度可以是10-60mm,寬度根據切割位置變化。
3.根據權利要求1所述的一種電火花工藝制備類單晶籽晶方法,其特征在于所述硅棒豎直放置,所述電極絲和硅棒中心線平行。
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