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[發明專利]電火花工藝制備類單晶籽晶方法無效

專利信息
申請號: 201210146846.7 申請日: 2012-05-11
公開(公告)號: CN103386715A 公開(公告)日: 2013-11-13
發明(設計)人: 李文 申請(專利權)人: 無錫奧特維科技有限公司
主分類號: B28D5/04 分類號: B28D5/04
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 214028 江蘇省無錫市新區泰山路2號*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 電火花 工藝 制備 類單晶 籽晶 方法
【權利要求書】:

1.一種電火花工藝制備類單晶籽晶方法,基于用電火花線切割機床改造后對硅棒進行切割,其特征在于電極絲通過橫向往復運動將硅棒切割成長條形籽晶硅板,通過縱向運動實現籽晶硅板倒角,得到長方形板狀籽晶。

2.根據權利要求1所述的一種電火花工藝制備類單晶籽晶方法,其特征在于所述籽晶厚度可以是10-60mm,寬度根據切割位置變化。

3.根據權利要求1所述的一種電火花工藝制備類單晶籽晶方法,其特征在于所述硅棒豎直放置,所述電極絲和硅棒中心線平行。

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