[發(fā)明專利]一種用激光制作波導(dǎo)的方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210146532.7
• 申請(qǐng)日: 2012-05-11
• 公開（公告）號(hào): CN102736176A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程光華;趙衛(wèi);白晶;張挺
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號(hào): G02B6/13
• 分類號(hào): G02B6/13;G03F7/20
• 代理公司: 西安智邦專利商標(biāo)代理有限公司 61211
• 代理人: 商宇科

1.一種用激光制作波導(dǎo)的方法，其特征在于：所述方法包括以下步驟：

1)將激光器發(fā)出的激光進(jìn)行擴(kuò)束；

2)擴(kuò)束后的激光再經(jīng)過1/2λ波片；

3)步驟2)出射的激光聚焦后形成刻寫激光；

4)將刻寫激光作用于光學(xué)樣品進(jìn)行痕跡掃描，形成波導(dǎo)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用激光制作波導(dǎo)的方法，其特征在于：所述步驟4)的具體步驟是：

4.1)將光學(xué)樣品置于三維控制平臺(tái)上；

4.2)移動(dòng)三維控制平臺(tái)使三維控制平臺(tái)上的光學(xué)樣品與刻寫激光呈相互垂直；

4.3)橫向移動(dòng)三維控制平臺(tái)，使刻寫激光在光學(xué)樣品上掃描出第一波導(dǎo)；

4.4)重復(fù)步驟4.3)，掃描出第二波導(dǎo)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用激光制作波導(dǎo)的方法，其特征在于：所述步驟1)中激光器發(fā)出的激光經(jīng)準(zhǔn)直系統(tǒng)擴(kuò)束。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用激光制作波導(dǎo)的方法，其特征在于：所述步驟3)中出射的激光是經(jīng)顯微物鏡聚焦后形成刻寫激光。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用激光制作波導(dǎo)的方法，其特征在于：所述第一波導(dǎo)和第二波導(dǎo)的長度是5mm，間距是10μm-1000μm。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用激光制作波導(dǎo)的方法，其特征在于：所述第一波導(dǎo)和第二波導(dǎo)的截面面積是10μm×10μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用激光制作波導(dǎo)的方法，其特征在于：所述第一波導(dǎo)和第二波導(dǎo)是直線形或曲線形。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用激光制作波導(dǎo)的方法，其特征在于：所述激光器是脈沖寬度小于100皮秒的超快激光器。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用激光制作波導(dǎo)的方法，其特征在于：所述光學(xué)樣品是摻鈦藍(lán)寶石晶體、YAG晶體、LiNO₃、石英玻璃、K9玻璃或ZF57。