[發(fā)明專利]一種壓電陶瓷抑振的XY精密運動平臺

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210145440.7
• 申請日: 2012-05-11
• 公開（公告）號: CN102723299A
• 公開（公告）日: 2012-10-10
• 發(fā)明（設計）人: 劉延杰;宋磊;劉扭扭
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業(yè)大學
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種壓電陶瓷抑振的XY精密運動平臺，其特征在于，底板組件(1)包括底板(5)，在底板(5)上安裝有X軸直線電機組件(2)、Y軸直線電機組件(3)、運動連接體組件(4)；其中，X軸直線電機組件(2)通過X軸直線電機安裝座螺釘(14)安裝在底板(5)的X軸安裝平面上；Y軸直線電機組件(3)通過Y軸直線電機安裝座螺釘(19)安裝在底板(5)的Y軸安裝平面上；X軸精密運動導軌(11)和Y軸精密運動導軌(28)均由固定軌和滑動軌組成；在運動連接體組件(4)中，X軸精密運動導軌(11)中的固定軌通過X軸精密運動導軌固定軌安裝螺釘(10)安裝在底板(5)的X軸導軌的安裝平面上；

在底板組件(1)中，X軸光柵尺讀數頭角架(7)通過X軸光柵尺讀數頭角架安裝螺釘(6)安裝在底板(5)的X軸導軌的安裝平面的外側面；X軸光柵尺讀數頭(8)通過X軸光柵尺讀數頭安裝螺釘(9)安裝在X軸光柵尺讀數頭角架(7)的相應位置；

在X軸直線電機組件(2)中，X軸直線電機安裝座(13)通過X軸直線電機安裝座螺釘(14)安裝在底板(5)的X軸安裝平面上；X軸直線電機定子及殼體(17)通過定位鑲嵌安裝在X軸直線電機安裝座(13)的安裝平面上；X軸直線電機動子組件(16)安裝在X軸直線電機定子及殼體(17)內；在X軸直線電機動子(16)的上、下表面上分別設有X軸動子壓電陶瓷膜(15)；X軸直線電機動子(16)的外露端上開有連接X軸運動連接架(25)的連接孔；

在Y軸直線電機組件(3)中，Y軸直線電機安裝座(18)通過Y軸直線電機安裝座螺釘(19)安裝在底板(5)的Y軸安裝平面上；Y軸直線電機定子及殼體(22)通過定位鑲嵌安裝在Y軸直線電機安裝座(18)的安裝平面上；Y軸直線電機動子組件(21)安裝在Y軸直線電機定子及殼體(22)內；在Y軸直線電機動子(21)的上、下表面上分別設有Y軸動子壓電陶瓷膜(20)；Y軸直線電機動子(21)的外露端上開有連接Y軸運動連接架(30)的連接孔；

在運動連接體組件(4)中，X軸運動連接架(25)通過X軸方向連接螺釘(26)與X軸直線電機動子(16)相連接；X軸運動連接架(25)通過X軸精密運動導軌滑動軌安裝螺釘(12)與X軸精密運動導軌(11)中的滑動軌相連接；通過Y軸精密運動導軌固定軌安裝螺釘(29)將Y軸精密運動導軌(28)的固定軌安裝在在X軸運動連接架(25)上相應的定位平面上；Y軸運動連接架(30)通過Y軸精密運動導軌滑動軌安裝螺釘(27)與Y軸精密運動導軌(28)的滑動軌相連接；Y軸運動連接架(30)的連接端通過Y軸方向連接螺釘(31)與Y軸直線電機動子(21)相連接；Y軸光柵尺架(37)通過Y軸光柵尺架安裝螺釘(36)安裝在Y軸運動連接架(30)的側面上；Y軸光柵尺讀數頭角架(34)通過Y軸光柵尺讀數頭角架安裝螺釘(35)安裝在X軸運動連接架(25)上側靠外的平面上；Y軸光柵尺讀數頭(32)通過Y軸光柵尺讀數頭安裝螺釘(33)安裝在Y軸光柵尺讀數頭角架(34)的相應位置上。

2.如權利要求1所述的XY精密運動平臺，其特征在于，除線圈和鋼芯部分外，X軸直線電機動子組件(16)的其余部件由碳素纖維制成。

3.如權利要求1所述的XY精密運動平臺，其特征在于，除線圈和鋼芯部分外，Y軸直線電機動子組件(21)的其余部件由碳素纖維制成。

4.如權利要求1所述的XY精密運動平臺，其特征在于，X軸動子壓電陶瓷膜(15)預制在X軸直線電機動子(16)的上、下表面上，并且Y軸動子壓電陶瓷膜(20)預制在Y軸直線電機動子(21)的上、下表面上。

5.如權利要求1所述的XY精密運動平臺，其特征在于，X軸精密運動導軌(11)和Y軸精密運動導軌(28)分別有兩組。

6.如權利要求1所述的XY精密運動平臺，其特征在于，X軸直線電機組件(2)是普通直線電機，其動子只能沿X軸方向在一定范圍內進行直線運動。

7.如權利要求6所述的XY精密運動平臺，其特征在于，安裝在底板組件(1)上的X軸直線電機組件(2)由X軸直線電機動子(16)提供驅動力，驅動X軸運動連接架(25)沿X方向進行運動。

8.如權利要求1所述的XY精密運動平臺，其特征在于，Y軸直線電機組件(3)是自適應解耦式直線電機，其動子除沿Y軸方向在一定范圍內進行直線運動外，還可以被動的在X軸方向在一定范圍內進行任意的移動。