[發明專利]一種直拉硅單晶的裝料方法及其裝置

無效

• 申請號: 201210145407.4
• 申請日: 2012-05-11
• 公開（公告）號: CN102653882A
• 公開（公告）日: 2012-09-05
• 發明（設計）人: 龐邦永
• 申請（專利權）人: 天通控股股份有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 浙江杭州金通專利事務所有限公司 33100
• 代理人: 吳關炳

1.一種直拉硅單晶的裝料方法，其特征在于，包括以下具體實施步驟：

⑴裝料前準備：將稱好重量的多晶硅料和母合金、石英坩堝（2）、裝料車（1）以及抽氣泵移入100級潔凈風淋室內；

⑵裝料：在操作人員拆爐打掃熱場的同時，另一組操作人員穿戴好潔凈服具進入潔凈風淋室，拆開石英坩堝（2）的外包裝，把其放到裝料車（1）上，再按工藝要求把多晶硅料和母合金裝入石英坩堝（2）內；

⑶合蓋、抽真空：用無塵布將石英坩堝（2）口擦拭干凈后，將環形密封圈放在石英坩堝（2）口上，蓋好石英坩堝蓋（3），用抽氣泵連接石英坩堝蓋（3）上的氣孔（5）抽真空，按裝料重量抽至氣壓表（7）顯示為-0.01~-0.1MPa后，關閉閥門（4），斷開抽氣泵與氣孔（5）的連接；

⑷裝入拉晶爐：將裝料車（1）推到清掃完畢的拉晶爐邊，用小型起吊設備勾住石英坩堝蓋（3）上的吊環（6），吊起石英坩堝（2）并移到石墨坩堝上方，對準后慢慢將石英坩堝（2）放入石墨坩堝內；

⑸拆石英坩堝蓋（3）、合爐：檢查石英坩堝（2）放置正中、平穩后，打開閥門（4）使石英坩堝（2）內壓強恢復到大氣壓強，移走石英坩堝蓋（3），合爐完畢。

2.一種用于根據權利要求1所述裝料方法的裝置，包括石英坩堝（2），其特征在于，還包括裝料車（1）、石英坩堝蓋（3）和環形密封圈；所述石英坩堝（2）置于裝料車（1）上，在裝好多晶硅料和母合金后，將所述環形密封圈放在石英坩堝（2）口上，然后蓋好石英坩堝蓋（3），以便能連接抽氣泵抽真空并吊裝石英坩堝（2）。

3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述裝料車（1）為長方體結構并設有U形凹槽，所述U形凹槽弧度與所選用的石英坩堝（2）的弧度相適應，U形凹槽U形口的直徑Φ1為500mm~1200mm；所述裝料車（1）底部裝有四個能轉動的滑輪（8）；裝料車（1）采用非金屬材料制成。

4.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述石英坩堝蓋（3）直徑與所選用的石英坩堝（2）的直徑相適應，所述石英坩堝蓋（3）上配有氣壓表（7）、帶閥門（4）的氣孔（5）及吊環（6），石英坩堝蓋（3）采用不銹鋼制成。

5.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述環形密封圈直徑與所選用的石英坩堝（2）的直徑相適應，所述環形密封圈內徑Φ2為480mm~1180mm，外徑Φ3為500mm~1200mm，環形密封圈采用橡膠制成。

6.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述非金屬材料為木材、塑料和/或橡膠。