[發明專利]一種投影物鏡

有效

• 申請號: 201210143845.7
• 申請日: 2012-05-11
• 公開（公告）號: CN103389564A
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發明（設計）人: 朱立榮
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G02B13/14
• 分類號: G02B13/14;G02B1/00;G03F7/20
• 代理公司: 北京連和連知識產權代理有限公司 11278
• 代理人: 王光輝

1.一種投影物鏡，其特征在于，所述投影物鏡由高折射率材料形成的鏡片和低折射率材料形成的鏡片分配設置而成，其中，所述高折射率材料指ni?>?1.57的材料，包括折射率高于1.57的第一高折射率材料和折射率高于1.61的第二高折射率材料，采用第二高折射率的鏡片需滿足鏡片徑厚比不小于4，且不能位于接近物面和接近像面的鏡片中；?所述低折射率材料指ni?<?1.51的材料，包括ni?<?1.51的第一低折射率材料和ni?<?1.48的第二低折射率材料。

2.根據權利要求1所述的投影物鏡，其中，所述高折射率材料的折射率滿足ni?>?1.57，第一高折射率材料的折射率滿足1.61>ni>1.57且10mm材料透過率τ10>0.997，第二高折射率材料的折射率滿足ni>1.61且10mm材料透過率τ10<0.995；所述低折射率材料的折射率滿足ni?<?1.51，第一低折射率材料的折射率滿足1.48<ni<1.51且10mm材料透過率τ10>0.998，第二低折射率材料的折射率滿足ni?<?1.48且10mm材料透過率τ10達到0.999以上。

3.如權利要求1所述的投影物鏡，其中，所述投影物鏡包括具有正光焦度的第一透鏡組、具有負光焦度的第二透鏡組、具有正光焦度的第三透鏡組、具有負光焦度的第四透鏡組、及具有正光焦度的第五透鏡組，沿光軸方向依次排列。

4.根據權利要求3所述的投影物鏡，其中，所述第一透鏡組，至少含有一片高折射率材料的鏡片，及至少包括一片負透鏡。

5.根據權利要求4所述的投影物鏡，其中，所述第一透鏡組中，含有一片高折射率材料的鏡片選用第一高折射率材料，其徑厚比不小于4。

6.根據權利要求4所述的投影物鏡，其中，所述第一透鏡組中的負透鏡的位置為最接近物面的具有光焦度的第一片鏡片，或者是接近物面的具有光焦度的第二片鏡片，但不超過接近物面的具有光焦度的第三片鏡片。

7.根據權利要求3所述的投影物鏡，其中，所述第二透鏡組至少包括三個負透鏡，其中至少包括一片由第一高折射率材料形成的鏡片。

8.根據權利要求7所述的投影物鏡，其中，所述第二透鏡組中的高折射率材料為第一高折射率材料。

9.根據權利要求3所述的投影物鏡，其中，所述第三透鏡組，至少包括三個正透鏡，由低折射率材料形成。

10.根據權利要求3所述的投影物鏡，其中，所述第四透鏡組，至少包括三個負透鏡，至少包括一片高折射率材料鏡片。

11.根據權利要求10所述的投影物鏡，其中，所述第四透鏡組中的高折射率材料為第一高折射率材料。

12.根據權利要求1所述的投影物鏡，其中，所塑第五透鏡組分為兩個子透鏡組，設置在光闌的兩側，所述第一子透鏡組位于光闌之前，包括不超過三片正透鏡，均采用低折射率材料形成；所述第二子透鏡組位于孔徑光闌之后，至少包含一片負透鏡，其中至少有一片負透鏡位于靠近光闌的第二片鏡片，且此鏡片采用高折射率材料形成。

13.根據權利要求12所述的投影物鏡，其中，所述第二子透鏡組中除所述第二片透鏡外的其他透鏡均由低射率材料構成，所述第二片透鏡的徑厚比大于10。

14.根據權利要求12或者所述的投影物鏡，其中，所述第二子透鏡組中的所述第二片透鏡位于光瞳附近，由第一高折射率材料構成。