[發(fā)明專利]整理盤、研磨墊整理器及研磨裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210143486.5
• 申請(qǐng)日: 2012-05-09
• 公開（公告）號(hào): CN103386649A
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐強(qiáng);李佩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號(hào): B24B53/017
• 分類號(hào): B24B53/017;B24B37/04
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種整理盤，包括整理盤本體，其特征在于，還包括一中心齒輪、三個(gè)研磨盤以及三個(gè)小齒輪，所述整理盤本體具有一內(nèi)齒圈，所述中心齒輪位于所述內(nèi)齒圈內(nèi)并和所述內(nèi)齒圈同心設(shè)置，所述三個(gè)小齒輪均勻分布于所述中心齒輪和所述內(nèi)齒圈組成的區(qū)域內(nèi)，且所述三個(gè)小齒輪分別與所述中心齒輪和所述內(nèi)齒圈嚙合，所述研磨盤分別設(shè)置于對(duì)應(yīng)的小齒輪的工作表面上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的整理盤，其特征在于，所述研磨盤的大小與所述小齒輪的大小相對(duì)應(yīng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的整理盤，其特征在于，所述研磨盤的直徑范圍是6~9厘米。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的整理盤，其特征在于，所述內(nèi)齒圈的內(nèi)徑是14~18厘米。

5.一種研磨墊整理器，其特征在于，包括驅(qū)動(dòng)馬達(dá)、驅(qū)動(dòng)軸以及如權(quán)利要求1所述的整理盤，所述驅(qū)動(dòng)軸的一端和所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)連接，所述驅(qū)動(dòng)軸的另一端與所述整理盤的中心齒輪固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的研磨墊整理器，其特征在于，所述研磨盤的大小與所述小齒輪的大小相對(duì)應(yīng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的研磨墊整理器，其特征在于，所述研磨盤的直徑范圍是6~9厘米。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的研磨墊整理器，其特征在于，所述內(nèi)齒圈的內(nèi)徑是14~18厘米。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的研磨墊整理器，其特征在于，還包括一保護(hù)殼，所述保護(hù)殼套設(shè)于所述驅(qū)動(dòng)軸的外側(cè)。

10.一種研磨裝置，包括研磨墊、研磨平臺(tái)、研磨液供應(yīng)管和研磨頭，所述研磨墊鋪設(shè)于所述研磨平臺(tái)上，所述研磨頭和所述研磨液供應(yīng)管分別設(shè)置于所述研磨墊上，其特征在于，包括如權(quán)利按要求5~9中任意一項(xiàng)所述的研磨墊整理器，所述研磨墊整理器設(shè)置于所述研磨墊上。