[發明專利]一種石墨舟自動裝卸片升降傳遞裝置

無效

• 申請號: 201210143212.6
• 申請日: 2012-05-10
• 公開（公告）號: CN102653859A
• 公開（公告）日: 2012-09-05
• 發明（設計）人: 王慧勇;魏唯;呂文利
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;H01L21/677
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強

1.一種石墨舟自動裝卸片升降傳遞裝置，包括豎直放置的框架（1）和用于暫存硅片的中轉片盒（10），其特征是，所述框架（1）正面安裝可帶動片盒（5）上下滑動的片盒升降機構（2），所述框架（1）的一側設有可帶動中轉片盒（10）上下滑動的硅片中轉機構（7），并在硅片中轉機構（7）的一側設有可在片盒升降機構（2）和硅片中轉機構（7）中水平傳遞片盒的硅片傳遞機構（8）；所述片盒升降機構（2）、硅片中轉機構（7）和硅片傳遞機構（8）構成第一組升降傳遞裝置，并在框架（1）的背面安裝與第一組升降傳遞裝置對稱的第二組升降傳遞裝置；所述各組升降傳遞裝置中的片盒升降機構（2）、硅片中轉機構（7）和硅片傳遞機構（8）的硅片中心位一致。

2.根據權利要求1所述石墨舟自動裝卸片升降傳遞裝置，其特征是，所述片盒升降機構包括由電機（12）驅動的輸送機（3）、檢測片盒（5）位置的A光電開關、支撐底板、升降氣缸（4）和用于固定片盒（5）的定位氣缸（6），所述A光電開關安裝在片盒（5）的下擋框上，支撐底板位于片盒（5）底部并在升降氣缸（4）的作用下推動片盒（5）升降，升降氣缸（4）和定位氣缸（6）分別置于片盒（5）的底部和頂部。

3.根據權利要求1所述石墨舟自動裝卸片升降傳遞裝置，其特征是，所述硅片中轉機構包括由電機（11）驅動的上下來回傳動的傳送帶、中轉片盒（10）和檢測硅片到位的B光電開關，所述傳送帶與中轉片盒（10）通過齒形板直接相連，在電機（11）的驅動下中轉片盒（10）上下來回移動，B光電開關安裝在中轉片盒（10）上板或下板邊緣。

4.根據權利要求1所述石墨舟自動裝卸片升降傳遞裝置，其特征是，所述硅片傳遞機構包括電動滑臺（9）、支架和若干個吸盤，所述電動滑臺（9）通過支架固定，電動滑臺（9）上的取片板可在片盒升降機構（2）的片盒（5）與硅片中轉機構（7）的中轉片盒（10）之間水平來回滑動，所述吸盤成三角布局安裝于取片板靠近片盒的一側。