[發明專利]碲鎘汞液相外延薄膜背面殘液的去除方法

有效

• 申請號: 201210142488.2
• 申請日: 2012-05-09
• 公開（公告）號: CN102677161A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 孫瑞贇;楊建榮;魏彥鋒;張傳杰;孫權志;陳倩男;張娟;陳曉靜
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海技術物理研究所
• 主分類號: C30B19/00
• 分類號: C30B19/00;C30B33/00;C30B33/10
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 郭英

1.一種碲鎘汞液相外延薄膜背面殘液的去除方法，其特征在于包括以下步驟：

1)在100級潔凈室中，對外延薄膜表面用薄膠進行光刻膠勻膠保護并進行切割，將外延薄膜樣品表面四周殘液切除；

2)選取一塊潔凈的玻璃圓盤放置在可調溫電爐上，溫度調至80攝氏度。待玻璃盤升溫后在其正中央區域涂上一塊5厘米乘以5厘米的蠟，隨后將外延薄膜樣品有殘液的面向上，水平放置于玻璃圓盤上蠟已融化的區域中，貼片完成后取下玻璃盤放置在易導熱散熱處，待蠟完全凝結后用刀片沿著外延薄膜邊緣小心得將四周的蠟刮去；

3)先用三氯乙烯沖洗玻璃盤表面，以去除殘留蠟、油及粘污，再用大量酒精沖洗玻璃盤表面，隨后將清洗好的玻璃盤貼片面朝上浸泡于新配王水中腐蝕1分鐘到10分鐘后，用大量去離子水沖洗30秒后擦干；

4)用拋光機對外延薄膜樣品有殘液的背面依次進行15-20分鐘的機械粗拋和10分鐘的化學、機械精拋光，徹底去除外延薄膜樣品背面的殘液；

5)將殘液已處理完畢的外延薄膜樣品連同玻璃盤放置與可調溫電爐上，溫度調至80攝氏度，待蠟融化后將外延薄膜取下；

6)對外延薄膜樣品表面進行去蠟和去光刻膠清洗；

7)在100級潔凈室中，對外延薄膜樣品表面用薄膠進行光刻膠勻膠保護。