[發明專利]一種集成于微流控芯片內的氣動微閥

無效

• 申請號: 201210142342.8
• 申請日: 2012-05-07
• 公開（公告）號: CN102679039A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 葉嘉明;張凱歡;邢婉麗;程京
• 申請（專利權）人: 博奧生物有限公司;清華大學
• 主分類號: F16K99/00
• 分類號: F16K99/00
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 關暢

1.一種集成于微流控芯片內的氣動微閥，其特征在于：所述氣動微閥包括至少1個由控制通道和可壓縮氣囊組成的封閉腔體；

所述控制通道的一側壁為彈性薄膜，且該側壁為所述控制通道與所述微流控芯片的流體通道相交的共用壁；所述控制通道與所述可壓縮氣囊相連通，所述可壓縮氣囊的另一端與外界相連通，且該端部由彈性薄膜封閉。

2.根據權利要求1所述的氣動微閥，其特征在于：所述控制通道位于所述流體通道的上方或下方。

3.根據權利要求1或2所述的氣動微閥，其特征在于：所述封閉腔體內填充有惰性流體。

4.根據權利要求3所述的氣動微閥，其特征在于：所述惰性流體為惰性氣體或惰性液體；所述惰性氣體為氮氣或壓縮空氣，所述惰性液體為礦物油或純凈水。

5.根據權利要求1-4中任一所述的氣動微閥，其特征在于：所述彈性薄膜的厚度為0~300μm，但不為零。

6.根據權利要求1-5中任一所述的氣動微閥，其特征在于：所述彈性薄膜的材質為硅橡膠、記憶合金、鋁箔或壓力膜。

7.根據權利要求1-6中任一所述的氣動微閥，其特征在于：所述氣動微閥還包括相配合的螺母與螺栓，所述螺母設于暴露于外的所述彈性薄膜上，當所述螺栓在所述螺母內進行定向移動時，暴露于外的所述彈性薄膜在所述螺栓的作用下發生形變。

8.根據權利要求1-6中任一所述的氣動微閥，其特征在于：所述氣動微閥還包括電磁鐵和金屬塊，所述金屬塊設于暴露于外的所述彈性薄膜上，所述彈性薄膜在所述電磁鐵與金屬塊之間的吸引力的作用下發生形變。