[發明專利]一種實現太陽能電池選擇性發射極的方法

無效

• 申請號: 201210141807.8
• 申請日: 2012-05-08
• 公開（公告）號: CN102709388A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 葉權華
• 申請（專利權）人: 常州天合光能有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 王凌霄

1.一種實現太陽能電池選擇性發射極的方法，其特征在于：具有以下步驟：

（1）太陽能電池片制絨后在太陽能電池片上采用濕氧氧化生長一層SiO₂阻擋層；

（2）將可通入氣體的壓緊裝置壓在太陽能電池片的電池柵線區域；

（3）壓緊裝置內通入HF氣體，HF氣體把電池柵線區域的SiO₂阻擋層全部去除后抽走殘留HF氣體；

（4）取走壓緊裝置，將太陽能電池片放入擴散爐進行重擴散，電池柵線區域形成高摻雜深擴散區，電池非柵線區域為SiO₂阻擋層；

（5）清洗去除SiO₂阻擋層后將太陽能電池片放入擴散爐進行輕擴散，電池非柵線區域形成輕摻雜淺擴散區。

2.根據權利要求1所述的一種實現太陽能電池選擇性發射極的方法，其特征在于：步驟（4）中，太陽能電池片放入擴散爐進行重擴散后電池柵線區域方阻為0～60ohm/sq。

3.根據權利要求1所述的一種實現太陽能電池選擇性發射極的方法，其特征在于：步驟（5）中，太陽能電池片放入擴散爐進行輕擴散后電池非柵線區域方阻為60～200ohm/sq。