[發明專利]一種Nb-W合金及其制備方法

無效

• 申請號: 201210141534.7
• 申請日: 2012-05-09
• 公開（公告）號: CN102634712A
• 公開（公告）日: 2012-08-15
• 發明（設計）人: 胡昌義;黎憲寬;蔡宏中;魏燕;陳力;毛傳軍;鄭旭;王云
• 申請（專利權）人: 貴研鉑業股份有限公司
• 主分類號: C22C27/02
• 分類號: C22C27/02;C22C1/00;C23C16/01;C23C16/06
• 代理公司: 昆明今威專利商標代理有限公司 53115
• 代理人: 賽曉剛

1.一種Nb-W合金材料，其特征在于：W為固溶強化元素，W含量為0.5-10wt.%，余量為Nb。

2.如權利要求1所述Nb-W合金材料，其特征在于：所述的Nb-W合金具有沿沉積方向的柱狀擇優取向和顯微層狀結構，層狀結構存在同步的成分起伏：層間以Nb為基并分布有NbW固溶體，層內以NbW固溶體為基并分布有Nb原子。

3.如權利要求1所述Nb-W合金材料，其特征在于：所述W含量為9.68wt.%，余量為Nb。

4.一種如權利要求1所述Nb-W合金材料的制備方法，該方法采用化學氣相沉積即CVD方法制備，其特征在于依次包括下列工藝步驟：?

（1）以鉬、石墨或其他高熔點金屬為基體，將基體加工成沉積器件所需要的形狀，并進行表面拋光及清潔處理；

（2）沉積準備：將原料Nb片和W片分別放置于Nb氯化室和W氯化室內，將沉積基體安放于旋轉支撐桿上；將沉積系統密封，并抽成真空狀態，真空度為10^-2Torr；

（3）沉積過程：分別將Nb、W以及基體加熱至相應的氯化溫度和沉積溫度，Nb加熱溫度為250－400℃，W的加熱溫度為550－700℃，沉積溫度為900－1400℃，按照設定的流量分別通入H₂和Cl₂，并通過控制真空泵抽氣速率調節沉積室的壓力至預定值；

（4）采用化學腐蝕法或機械去除法將沉積的Nb-W合金與基體與Mo、石墨或其他高熔點金屬進行分離，即可得到Nb-W合金材料或器件。

5.如權利要求4所述Nb-W合金材料的制備方法，其特征在于：所述原料Nb片和W片材厚度為0.2-0.5mm，純度均為99.95%；所述的H₂和Cl₂，氫氣純度為99.95%，氯氣純度為99.6%。

6.如權利要求4所述Nb-W合金材料的制備方法，其特征在于：通入Nb氯化室內的Cl₂流量范圍為100-250ml/min，通入W氯化室內的Cl₂流量范圍為30-120ml/min。

7.如權利要求4所述Nb-W合金材料的制備方法，其特征在于：所述Nb-W合金材料中，W含量為0.5-10wt.%，余量為Nb。

8.如權利要求4所述Nb-W合金材料的制備方法，其特征在于：所述Nb-W合金材料中，所述W含量為9.68wt.%，余量為Nb。