[發(fā)明專利]磁力顯微鏡用懸臂及其制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210140453.5
• 申請日: 2012-05-08
• 公開（公告）號: CN102778589A
• 公開（公告）日: 2012-11-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張開鋒;廣瀨丈師;渡邊正浩;松井哲也;中込恒夫;德富照明
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社日立高新技術(shù)
• 主分類號: G01Q60/54
• 分類號: G01Q60/54
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 張敬強(qiáng);李家浩

1.一種磁力顯微鏡用懸臂，用于磁力顯微鏡的測定，其特征在于，

具備：附加在上述磁力顯微鏡用懸臂的前端的探針上的磁性膜；以及

附加于上述探針的周圍的非磁性硬質(zhì)保護(hù)膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁力顯微鏡用懸臂，其特征在于，

上述磁性膜附加在上述探針的一側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁力顯微鏡用懸臂，其特征在于，

根據(jù)上述磁性膜的形狀來決定利用上述磁力顯微鏡用懸臂測定磁場時(shí)的空間分辨率。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁力顯微鏡用懸臂，其特征在于，

上述磁性膜是Ni、NiFe、CoFe的軟磁性材料、或Co、Al-Ni-C、Fe-Pt的硬磁性材料。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁力顯微鏡用懸臂，其特征在于，

上述非磁性硬質(zhì)保護(hù)膜是DLC、TiN、TiC、TiCN、CrNCN、或貴金屬膜。

6.一種磁力顯微鏡用懸臂，用于磁力顯微鏡的測定，其特征在于，

具備：附加在上述磁力顯微鏡用懸臂的前端的探針上的磁性膜；以及

附加于上述探針的周圍的軟磁性體氧化防止保護(hù)膜。

7.一種磁力顯微鏡用懸臂的制造方法，該磁力顯微鏡用懸臂用于磁力顯微鏡的測定，該磁力顯微鏡用懸臂的制造方法的特征在于，

在上述磁力顯微鏡用懸臂的前端的探針上形成磁性膜，在上述探針的周圍形成非磁性硬質(zhì)保護(hù)膜。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的磁力顯微鏡用懸臂的制造方法，其特征在于，

當(dāng)在上述磁力顯微鏡用懸臂的探針的周圍形成上述非磁性硬質(zhì)保護(hù)膜時(shí)，從上述磁力顯微鏡用懸臂的上述探針的正面以角度15°-45°來形成上述非磁性硬質(zhì)保護(hù)膜，從上述磁力顯微鏡用懸臂的上述探針的背面在角度15°-30°的范圍內(nèi)從兩個(gè)方向形成上述非磁性硬質(zhì)保護(hù)膜。

9.一種磁力顯微鏡用懸臂的制造方法，該磁力顯微鏡用懸臂用于磁力顯微鏡的測定，該磁力顯微鏡用懸臂的制造方法的特征在于，

上述磁力顯微鏡用懸臂的前端的探針是CNF探針或CNT探針，

當(dāng)在上述CNF探針或上述CNT探針上形成磁性膜時(shí)，上述磁性膜的成膜靶和上述CNF探針或上述CNT探針之間的距離較長，當(dāng)在上述CNF探針或上述CNT探針的周圍形成非磁性硬質(zhì)保護(hù)膜時(shí)，上述非磁性硬質(zhì)保護(hù)膜的成膜靶和上述CNF探針或上述CNT探針之間的距離較短。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的磁力顯微鏡用懸臂的制造方法，其特征在于，

當(dāng)在上述CNF探針或上述CNT探針的周圍形成上述非磁性硬質(zhì)保護(hù)膜時(shí)，一定時(shí)間內(nèi)在上述CNF探針或上述CNT探針的前端部分設(shè)置遮蔽物。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的磁力顯微鏡用懸臂的制造方法，其特征在于，

當(dāng)在上述CNF探針或上述CNT探針的周圍形成上述非磁性硬質(zhì)保護(hù)膜時(shí)，在形成上述非磁性硬質(zhì)保護(hù)膜前，在上述CNF探針或上述CNT探針的前端部分附著與其直徑大致相同或稍大的微粒子，之后，使上述磁力顯微鏡用懸臂以上述CNF探針或上述CNT探針為軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從斜下方形成上述非磁性硬質(zhì)保護(hù)膜，除去上述微粒子后，再從底面形成上述非磁性硬質(zhì)保護(hù)膜。

12.一種磁力顯微鏡用懸臂的制造方法，該磁力顯微鏡用懸臂用于磁力顯微鏡的測定，該磁力顯微鏡用懸臂的制造方法的特征在于，

在上述磁力顯微鏡用懸臂的前端的探針上形成磁性膜，在上述探針的周圍形成軟磁性體氧化防止保護(hù)膜。