[發明專利]搖動質量塊壓電雙軸微陀螺

有效

• 申請號: 201210139878.4
• 申請日: 2012-05-07
• 公開（公告）號: CN102679967A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 張衛平;許仲興;關冉;張弓;成宇翔;陳文元;吳校生;劉武;崔峰
• 申請（專利權）人: 上海交通大學
• 主分類號: G01C19/56
• 分類號: G01C19/56
• 代理公司: 上海漢聲知識產權代理有限公司 31236
• 代理人: 郭國中

1.一種壓電驅動壓電檢測雙軸微陀螺儀，其特征在于包括：

一個具有搖動質量塊的諧振子，通過基板支撐；

四個與基板邊平行的驅動電極；以及

四個與基板邊平行的檢測電極；

所述搖動質量塊的材料為金屬，基板的材料為PZT壓電材料。

2.根據權利要求1所述的壓電驅動壓電檢測雙軸微陀螺儀，其特征是：所述搖動質量塊振子為長方體，基板為等邊薄板，搖動質量塊在基板正中處。

3.根據權利要求1所述的壓電驅動壓電檢測雙軸微陀螺儀，其特征是：所述基板為正方形，四邊固定，其余部分不施加限制。

4.根據權利要求1所述的壓電驅動壓電檢測雙軸微陀螺儀，其特征是：所述四個驅動電極和四個與檢測電極分別沿基板四邊的方向配置，且與搖動質量塊之間有間隙，每個驅動電極外側是與基板邊平行的檢測電極，驅動電極和檢測電極都固定在基板上。

5.根據權利要求4所述的壓電驅動壓電檢測雙軸微陀螺儀，其特征是：所述四個驅動電極材料為金屬，形狀為長方形，分別沿正方形基板邊緣平行布置，在檢測電極的內側且兩者之間存在間隙，用于激勵搖動質量塊工作在驅動模態。

6.根據權利要求4所述的壓電驅動壓電檢測雙軸微陀螺儀，其特征是：所述四個檢測電極材料為金屬，形狀為長方形，分別沿正方形基板邊緣平行布置，在驅動電極的外側并且兩者之間存在間隙，用于檢測搖動質量塊在檢測模態振型的振動，從而檢測外界輸入角速度的大小。

7.根據權利要求1-5任一項所述的壓電驅動壓電檢測雙軸微陀螺儀，其特征是：所述搖動質量塊沿基板X方向或Y方向進行特殊振動模態振動，利用該運動分別檢測基板Y方向或X方向的輸入角速度；所述搖動質量塊X方向和Y方向驅動電壓的相位相差90°，使得科氏效應產生的X方向和Y方向的科氏力相位相差90°，基板對X軸和Y軸的輸入角速度敏感變形相位相差為90°；經外圍調解電路的處理，提取到沿基板X軸方向和Y軸方向的輸入角速度。