[發明專利]微型固態化學推進器的制備方法

無效

• 申請號: 201210139073.X
• 申請日: 2012-05-06
• 公開（公告）號: CN102701139A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 苑偉政;申強;郝永存;張和民;謝建兵
• 申請（專利權）人: 西北工業大學
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00;B81C3/00
• 代理公司: 西北工業大學專利中心 61204
• 代理人: 呂湘連

1.微型固態化學推進器的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

第一步，對普通硅片（1）進行清洗；再在硅表面涂光刻膠（2）、光刻、顯影、ICP刻蝕得到下導線槽（16）和上導線槽（3）；

第二步，去除光刻膠，清洗硅片表面，濺射金屬鋁（4）再在鋁表面旋涂光刻膠，光刻，顯影，利用濕法腐蝕除去曝光區域的鋁膜，接著DRIE同時得到燃燒室（5）和噴嘴（15）；

第三步，去除剩余的鋁膜，干法氧化硅片，采用氫氟酸溶液清洗氧化膜，得到光潔的燃燒室（5）和噴嘴（15）；

第四步，清洗玻璃片（7），在玻璃片表面涂光刻膠（2）、光刻、顯影得到點火器（18）、上點火導線（10）、下點火導線（11）、上焊盤（12）和下焊盤（13）的圖形，在涂有光刻膠的玻璃片表面濺射金屬（8）；

第五步，剝離光刻膠，得到點火器（18），在金屬膜（8）的玻璃片上涂光刻膠（2）、光刻、顯影得到點火導線區和焊盤區的圖形，在涂有光刻膠（2）的玻璃片（7）表面濺射金屬薄膜（9），再去除光刻膠，得到金屬導線以及金屬焊盤；

第六步，將具有燃燒室和噴嘴結構的硅片和具有點火電路的玻璃片利用鍵合工藝連接，得到微型固態化學推進器。

2.一種如權利要求1所述微型固態化學推進器的制備方法，其特征在于，所述第四步中金屬膜（8）為熔點大于1500℃的金屬材料。

3.一種如權利要求1所述微型固態化學推進器的制備方法，其特征在于，所述第五步中金屬薄膜（9）的材料為銅、鉑或金。