[發明專利]一種大面積沉積金剛石膜的熱絲架及其制造方法

無效

• 申請號: 201210138893.7
• 申請日: 2012-05-06
• 公開（公告）號: CN102634770A
• 公開（公告）日: 2012-08-15
• 發明（設計）人: 魏俊俊;李成明;高旭輝;黑立富;呂反修
• 申請（專利權）人: 北京科技大學
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/44;C23C16/48
• 代理公司: 北京金智普華知識產權代理有限公司 11401
• 代理人: 皋吉甫

1.一種大面積沉積金剛石膜的熱絲架制造方法，其特征在于，具體步驟如下：

1.1整個熱絲架首先在沉積腔室外進行整體安裝；先通過兩根支撐桿（8）將左鉬電極（1）和右鉬電極（2）進行固定；未安裝彈簧的彈簧架（5）通過陶瓷絕緣片與右鉬電極（2）進行連接，整個彈簧架平面與水平呈30度夾角；在左鉬電極（1）上等間距布置一排帶凹槽銷釘（3），凹槽口背對右鉬電極（2）；右鉬電極（2）上具有弧型槽（4），弧型槽（4）與銷釘（3）分布規律相同，且弧型槽（4）底部與銷釘（3）的凹槽水平一致；鉭或鎢材質的燈絲（7）依據需要剪成長度相等的燈絲段若干根，然后在兩頭擰出圓環狀；燈絲一端套在帶凹槽銷釘（3）上，另一端跨過右鉬電極（2）后與彈簧（9）一端連接，彈簧（9）另一端通過鉤連接在外邊條（6）的相應孔上，外邊條（6）上的孔與弧型槽（4）和銷釘（3）分布規律相同，從而完成固定；

1.2所有燈絲布置完后，將整個燈絲陣列放入反應腔室中，左、右鉬電極與四個帶水冷銅電極支柱（10）進行連接；熱絲架固定后，將兩根支持桿（8）拆除，即可關閉腔室進行實驗。

2.一種大面積沉積金剛石膜的熱絲架，包括左鉬電極（1），右鉬電極（2），帶凹槽銷釘（3），弧形槽（4），彈簧架（5），?外邊條（6），若干根長度相等的燈絲（7），支持桿（8）及彈簧（9），其特征在于：

所述左鉬電極（1）和右鉬電極（2）通過支持桿（8）固定；

左鉬電極（1）上等間距布置一排帶凹槽銷釘（3），凹槽口背對右鉬電極（2）；右鉬電極（2）上具有弧型槽（4），弧型槽（4）與銷釘（3）分布規律相同，且弧型槽（4）底部與銷釘（3）的凹槽水平一致；

彈簧架（5）通過陶瓷絕緣片與右鉬電極（2）進行連接，整個彈簧架平面與水平呈30度夾角；

燈絲（7）一端套在帶凹槽銷釘（3）上，另一端跨過右鉬電極（2）后與彈簧（9）一端連接，彈簧（9）另一端通過鉤連接在外邊條（6）的相應孔上，外邊條（6）上的孔與弧型槽（4）和銷釘（3）分布規律相同。

3.一種大面積沉積金剛石膜的熱絲架，包括左鉬電極（1），右鉬電極（2），帶凹槽銷釘（3），弧形槽（4），彈簧架（5），?外邊條（6），若干根長度相等的燈絲（7），彈簧（9）及銅電極支柱（10），其特征在于：

所述左鉬電極（1）和右鉬電極（2）與四個帶水冷銅電極支柱（10）進行連接固定；

左鉬電極（1）上等間距布置一排帶凹槽銷釘（3），凹槽口背對右鉬電極（2）；右鉬電極（2）上具有弧型槽（4），弧型槽（4）與銷釘（3）分布規律相同，且弧型槽（4）底部與銷釘（3）的凹槽水平一致；

彈簧架（5）通過陶瓷絕緣片與右鉬電極（2）進行連接，整個彈簧架平面與水平呈30度夾角；

燈絲（7）一端套在帶凹槽銷釘（3）上，另一端跨過右鉬電極（2）后與彈簧（9）一端連接，彈簧（9）另一端通過鉤連接在外邊條（6）的相應孔上，外邊條（6）上的孔與弧型槽（4）和銷釘（3）分布規律相同。