[發明專利]冷卻系統及具該系統的熱退火爐管和冷卻方法有效
| 申請號： | 201210138202.3 | 申請日： | 2012-05-04 |
| 公開（公告）號： | CN102645102A | 公開（公告）日： | 2012-08-22 |
| 發明（設計）人： | 敖海林;裴雷洪;俞瑋;王志良 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | F27D9/00 | 分類號： | F27D9/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陸花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 冷卻系統 系統 退火 爐管 冷卻 方法 | ||
1.一種冷卻系統，用于熱退火爐管的冷卻，其特征在于，所述冷卻系統包括設置在所述熱退火爐管的工藝氣體入端一側并依次順序連接的冷卻氣體進端、第一調節閥和第一鼓風機；以及設置在所述熱退火爐管的反應后高溫氣體出端一側并依次順序連接的熱交換器、第二鼓風機、第二調節閥和反應后氣體出端。
2.如權利要求1所述的冷卻系統，其特征在于，所述熱交換器采用冷卻水循環進行熱交換。
3.如權利要求2所述的冷卻系統，其特征在于，所述熱交換器上間隔設置冷卻水入端和冷卻水出端。
4.一種具有如權利要求1所述的冷卻系統的熱退火爐管，其特征在于，所述熱退火爐管進一步包括加熱器和工藝腔室。
5.如權利要求4所述的熱退火爐管，其特征在于，所述熱退火爐管進一步包括將所述冷卻系統中的冷卻氣體通過第一鼓風機輸送至所述熱退火爐管的內部并對所述加熱器和工藝腔室進行冷卻的冷卻介質傳輸裝置。
6.如權利要求5所述的熱退火爐管，其特征在于，所述冷卻介質傳輸裝置包括設置在所述熱退火爐管外側的導熱孔和導管。
7.如權利要求6所述的熱退火爐管，其特征在于，所述熱退火爐管進一步包括設置在所述導管上的氣動閥。
8.如權利要求6所述的熱退火爐管，其特征在于，所述導熱孔間隔分布在所述熱退火爐管之加熱器的上端、中端，以及下端。
9.一種如權利要求4所述的熱退火爐管的冷卻方法，其特征在于，所述方法包括步驟：
步驟S1：在所述熱退火爐管外側間隔設置導熱孔和導管；
步驟S2：將所述冷卻系統中的冷卻氣體通過所述第一鼓風機經過冷卻介質傳輸裝置輸送至所述熱退火爐管內部，并對所述加熱器和工藝腔室進行冷卻降溫；
步驟S3：采用冷卻系統中的熱交換器對反應后高溫氣體進行冷卻降溫。
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