[發明專利]氣體傳感器

有效

• 申請號: 201210137063.2
• 申請日: 2012-05-04
• 公開（公告）號: CN102778483A
• 公開（公告）日: 2012-11-14
• 發明（設計）人: 科斯廷·威斯納;馬克西米利安·弗萊舍爾;羅蘭·波勒;奧利弗·馮西卡爾
• 申請（專利權）人: 西門子公司
• 主分類號: G01N27/26
• 分類號: G01N27/26;G01N27/403;G01N27/414
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 李慧

1.一種用于檢測至少一種揮發性有機化合物或至少一種氧化性氣體(5)的裝置，包括：

一檢測材料(4)，在與所述揮發性有機化合物或所述氧化性氣體(5)相互作用時，所述檢測材料的電子逸出功發生變化，

用于檢測所述檢測材料的電子逸出功變化的構件，

其特征在于，所述檢測材料包括一選自金屬有機骨架群組的材料。

2.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述用于檢測電子逸出功變化的構件包括一場效應晶體管結構。

3.根據權利要求1或2所述的裝置，其中，所述檢測材料(4)設置在所述場效應晶體管結構的柵極區域。

4.根據上述權利要求中任一項權利要求所述的裝置，其中，所述場效應晶體管結構的柵極與所述場效應晶體管結構的其余部分之間被一氣隙(6)隔開。

5.根據上述權利要求中任一項權利要求所述的裝置，其中，所述檢測材料(4)是一Cu₃BTC₂金屬有機骨架。

6.根據上述權利要求中任一項權利要求所述的裝置，且其包括一用于為所述金屬有機骨架加熱的加熱裝置。

7.一種用于檢測至少一種揮發性有機化合物或至少一種氧化性氣體(5)的裝置的制造方法，其中，在一載體(特別是硅襯底)上設一檢測材料(4)，在與所述揮發性有機化合物或所述氧化性氣體(5)相互作用時，所述檢測材料的電子逸出功發生變化，所述檢測材料包括一選自金屬有機骨架群組的材料，此外還制造用于檢測所述檢測材料的電子逸出功變化的構件，其中，將所述檢測材料(4)設置為帶有一非氣敏有機粘合劑(特別是乙基纖維素)的層。