[發明專利]掃描型電子顯微鏡裝置以及使用它的攝影方法

有效

• 申請號: 201210135414.6
• 申請日: 2007-02-08
• 公開（公告）號: CN102759540A
• 公開（公告）日: 2012-10-31
• 發明（設計）人: 宮本敦;長友涉;松岡良一;諸熊秀俊
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: G01N23/225
• 分類號: G01N23/225;G03B42/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;郭鳳麟

1.一種攝影方法，其特征在于，包含以下的步驟：

輸入試樣上的評價點的坐標的步驟；

輸入在該試樣上形成的圖形的設計布局信息的步驟；

根據該設計布局信息，多次那樣決定包含用于對該評價點進行攝影的攝影點的攝影順序的步驟；

根據在該決定的多個那樣的攝影順序中包含的第一攝影順序，進行攝影的步驟；以及

根據基于該第一攝影順序進行攝影得到的攝影點或評價點的攝影結果或處理結果，決定是否根據該決定的多個攝影順序中包含的第二攝影順序進行攝影的步驟。

2.根據權利要求1所述的攝影方法，其特征在于，

在決定是否進行所述攝影的步驟中，把根據該第一攝影順序通過攝影得到的攝影點或評價點的攝影結果或處理結果與預先決定的評價值或優先順序進行比較，決定是否根據該決定的多個攝影順序中包含的第二攝影順序進行攝影。

3.根據權利要求1所述的攝影方法，其特征在于，

在決定是否進行所述攝影的步驟中，根據基于該第一攝影順序通過攝影得到的攝影點的尋址的結果，決定是否根據該決定的多個攝影順序中包含的第二攝影順序進行攝影。

4.根據權利要求1所述的攝影方法，其特征在于，

在決定是否進行所述攝影的步驟中，還在決定根據該決定的多個攝影順序中包含的第二攝影順序進行攝影的情況下，推定該攝像點或該評價點的攝像或處理失敗的原因。

5.根據權利要求1所述的攝影方法，其特征在于，

該攝影點是尋址點或自動聚焦點或自動標記點或自動亮度對比度點中的某一個。

6.根據權利要求1所述的攝影方法，其特征在于，還包含以下步驟：

存儲在決定所述攝影順序的步驟中決定的攝影順序的步驟；以及

根據在存儲所述攝影順序的步驟中存儲的攝影順序，對在該試樣上形成的圖形進行攝影的攝影步驟。

7.根據權利要求1所述的攝影方法，其特征在于，

在決定所述攝影順序的步驟中，決定在對該試樣上的攝影點進行攝影后，通過光束移動進行移動來對該評價點進行拍攝那樣的拍攝順序。

8.根據權利要求5所述的攝影方法，其特征在于，

在存儲所述攝影順序的步驟中，還把該試樣的在該決定的攝影點中的圖形作為登錄模板進行存儲，

在所述攝影步驟中，根據在存儲所述攝影順序的步驟中存儲的攝影順序和在存儲所述攝影順序的步驟中存儲的該登錄模板，對在該試樣上形成的圖形進行攝影。

9.一種掃描型電子顯微鏡裝置，其特征在于，具有：

輸入試樣上的評價點的坐標的單元；

輸入在該試樣上形成的圖形的設計布局信息的單元；

根據該設計布局信息，多次那樣決定包含用于對該評價點進行攝影的攝影點的攝影順序的單元；

根據在該決定的多個那樣的攝影順序中包含的第一攝影順序，進行攝影的單元；以及

根據基于該第一攝影順序進行攝影得到的攝影點或評價點的攝影結果或處理結果，決定是否根據該決定的多個攝影順序中包含的第二攝影順序進行攝影的單元。

10.根據權利要求9所述的掃描型電子顯微鏡裝置，其特征在于，

決定是否進行所述攝影的單元，把根據該第一攝影順序通過攝影得到的攝影點或評價點的攝影結果或處理結果與預先決定的評價值或優先順序進行比較，決定是否根據該決定的多個攝影順序中包含的第二攝影順序進行攝影。

11.根據權利要求9所述的掃描型電子顯微鏡裝置，其特征在于，

決定是否進行所述攝影的單元，根據基于該第一攝影順序通過攝影得到的攝影點的尋址的結果，決定是否根據該決定的多個攝影順序中包含的第二攝影順序進行攝影。

12.根據權利要求9所述的掃描型電子顯微鏡裝置，其特征在于，

決定是否進行所述攝影的單元，還在決定根據該決定的多個攝影順序中包含的第二攝影順序進行攝影的情況下，推定該攝像點或該評價點的攝像或處理失敗的原因。

13.根據權利要求9所述的掃描型電子顯微鏡裝置，其特征在于，

該攝影點是尋址點或自動聚焦點或自動標記點或自動亮度對比度點中的某一個。